Tutup Btn

Pilih tapak Serantau Anda

Tutup

Kerosakan terma boleh dikurangkan dengan menyejukkan spesimen dengan nitrogen cecair semasa pemprosesan. Direka untuk menyekat penggunaan nitrogen cecair, membenarkan tempoh penyejukan yang lama. Penyejukan pantas spesimen semasa direndam dalam nitrogen cecair. Kembali ke suhu bilik. Direka bentuk untuk membolehkan bahagian ditanggalkan. Menggabungkan mekanisme untuk membolehkan proses daripada penggilapan kepada pemerhatian dilakukan tanpa mendedahkan sampel ke udara.

Ciri-ciri

Ciri-ciri IB-19520CCP

Kesan penyejukan

Spesimen: Keluli besi bergalvani

Pengilangan biasa (tanpa penyejukan)
Voltan pecutan 4kV

Pengilangan yang disejukkan (suhu pemegang -120°C)
Voltan pecutan 4kV

  • Untuk pengilangan Normal (tanpa penyejukan), terdapat lompang yang boleh dilihat pada sempadan antara besi dan zink, yang tidak kelihatan dalam penyejuk.

Menggunakan mekanisme kawalan suhu (pilihan) untuk penyejukan

Spesimen: Permukaan ikatan wafer Si

  • Untuk pengilangan Normal (tanpa penyejukan), agen ikatan berubah bentuk oleh kerosakan haba, dan lompang besar muncul. Pada -150 ℃, penyejukan adalah berlebihan, dan lompang boleh dilihat pada sempadan ikatan dan bahagian kusam wafer Si.

Tiada lompang dalam sampel yang disediakan dengan kawalan suhu penyejukan.

Proses terputus-putus, Penyejukan dan Penyejukan dengan fungsi kawalan suhu mengendalikan pelbagai bahan kerja

Fungsi monitor proses

Status pengilangan keratan rentas boleh dipantau dalam masa nyata dengan kamera CCD.
Dan pembesaran boleh diubah.

Fungsi salutan anti-statik

Fungsi sputter pancaran ion pilihan tersedia.
Buat salutan nipis dengan butiran yang baik.
Sesuai untuk kes yang memerlukan pengecaman corak, seperti EBSD.

Pemegang pengilangan ion planar

Rasuk ion disinari pada sudut rendah berbanding sampel, membolehkan pencemaran pada lapisan permukaan dikeluarkan, serta melicinkan permukaan.
Ia juga sesuai untuk etsa terpilih.

Kit Persediaan Keratan Rentas

Ini ialah kit untuk melakukan pengilangan rasuk ion semasa memutar sampel.
Kit ini digunakan dengan pemegang pengilangan ion Planar. 
Membolehkan untuk mencipta keratan rentas sampel yang terdedah kepada coretan apabila dikisar, seperti bahan berliang, serbuk dan gentian.

spesifikasi

Voltan pecutan ion 2 hingga 8kV
Lebar pancaran ion 500 μm (lebar penuh pada separuh maksimum)
Kelajuan pengilangan 500 μm/j
(Nilai purata lebih 2 jam, pada voltan pecutan: 8 kV, spesimen: Si, 100 μm dari tepi)
Pemegang spesimen suhu penyejukan muktamad -120°C atau kurang
Masa tahan penyejukan spesimen Jam 8 atau lebih
Kapasiti tangki penyejuk Kira-kira 1 L
Saiz spesimen maksimum Dimensi: 11mm(W)×8mm(D)×3mm(H)
Julat pergerakan pentas Paksi-X;±6mm, paksi-Y; ±2.5mm
Kaedah penetapan spesimen Keratan
Sudut ayunan pengilangan spesimen ±30°(Paten US4557130)
Memantau pembesaran kamera Kira-kira ×20 hingga 100 (paparan 6.5 inci)
Sistem pengasingan udara Kapal pemindahan
Kaedah pengasingan udara Tetapkan bahagian dalam ruang kepada persekitaran gas, tutup bekas pemindahan dengan penutup, dan bungkus spesimen ke dalam bekas.
Operasi Panel sentuh, paparan 6.5 inci
Gas Gas argon (kadar aliran dikawal oleh pengawal aliran massa)
Tekanan tolok Tolok vakum penning
Pam pemindahan utama Pam molekul turbo
Pam pemindahan bantuan Pam berputar
Dimensi dan Jisim Unit utama: Lebih kurang. 670mm (W) × 720mm (D) × 530mm (H) , Anggaran. 73㎏
Pam berputar: Lebih kurang. 120mm(W) × 288.5mm(D) × 163mm(H), Lebih kurang. 9.3㎏
Lebih Baik Pemegang Putaran Spesimen Besar (IB‐11550LSRH)
Pemegang Spesimen Pangkalan Pemasangan(IB‐11560MBSH)
Pemegang Spesimen Besar(IB-11570LSH)
Pemegang Salutan Karbon(IB-12510CCH)

Keperluan Pemasangan

Bekalan kuasa Fasa tunggal 100 hingga 120V±10%, 50/60Hz, 0.6KVA
Terminal pembumian 100Ω atau kurang
Gas argon Tekanan; 0.15±0.05MPa(1.0 hingga 2.0㎏f/cm2), Ketulenan: 99.9999% atau lebih, (gas Argon, silinder, dan pengawal selia mesti disediakan oleh pelanggan) penyambung hos; JISB0203Rc1/4
Suhu bilik 15 hingga 25 ° C
Kelembapan 60% atau kurang
  • Spesifikasi boleh berubah tanpa notis terlebih dahulu.

Muat turun Katalog

Kesesuaian

Permohonan IB-19520CCP

Produk Berkaitan

Maklumat lanjut

Asas Sains

Penerangan mudah tentang mekanisme dan
aplikasi produk JEOL

Tutup
Notis

Adakah anda seorang profesional perubatan atau kakitangan yang terlibat dalam penjagaan perubatan?

Ya

Tidak

Sila diingatkan bahawa halaman ini tidak bertujuan untuk memberikan maklumat tentang produk kepada orang ramai.

Hubungi

JEOL menyediakan pelbagai perkhidmatan sokongan untuk memastikan pelanggan boleh menggunakan produk dan perkhidmatan kami dengan puashati.
Sila hubungi kami.