IB-10500HMS
PENGHILANG BAHAGIAN RENTAS™
Sistem Pengilangan Daya Tinggi
Ciri-ciri
Pengilangan Throughput Tinggi * 1
Kadar pengilangan tinggi keratan rentas yang dicapai oleh sumber ion baharu:1.2mm/j atau lebih* 2
(2.4 kali daripada kadar pengilangan sebelumnya.)
Sistem pengilangan daya pemprosesan tinggi mengoptimumkan elektrod sumber ion dan membolehkan voltan pecutan yang lebih tinggi, sekali gus meningkatkan ketumpatan arus rasuk ion.
Sumber ion kami yang baru dibangunkan mencapai kadar pengilangan tinggi bagi keratan rentas 1.2 mm/j atau lebih (2.4 kali ganda daripada kadar pengilangan sebelumnya.)
Kadar pengilangan keratan rentas sumber ion baharu
Spesimen: wafer silikon
Voltan pecutan: 10kV
Masa pengilangan: 1j
Pengilangan keratan rentas aloi takat lebur rendah (penyejukan)
Voltan pecutan: 10 kV
Masa pengilangan: 30 min
Imej SEM sebelah kanan menunjukkan aloi Sn-Bi dengan takat lebur 150°C.
Logam takat lebur yang rendah boleh dicairkan kerana haba pemprosesan; oleh itu, penyejukan logam diperlukan sebelum mengisar. Pengilangan daya pemprosesan tinggi digunakan pada spesimen sensitif haba manakala spesimen disimpan dalam keadaan sejuk * 3.
Kemudian, spesimen keratan rentas dengan kerosakan haba yang dikurangkan diperolehi dalam masa yang singkat.
Pengilangan Kawasan Besar ＊1,＊4
Pengilangan Permukaan Planar Kawasan Lebih Besar
Sistem pengilangan daya pemprosesan tinggi baharu telah membolehkan penyinaran pancaran ion ke kawasan spesimen yang lebih besar.
Pengilangan permukaan planar berkesan untuk menghilangkan calar yang dihasilkan pada permukaan spesimen atau strain kristal, yang disebabkan oleh penggilap mekanikal.
Pengilangan permukaan satah konkrit
Voltan pecutan: 10 kV
Masa pengilangan: 20 min
Pengilangan permukaan planar kawasan besar digunakan pada konkrit dengan lebar 20mm.
Selepas pengilangan, calar pengilat dan pencemaran telah dikeluarkan, membolehkan pemerhatian jelas zarah batu dan simen yang terkandung dalam konkrit.
Fungsi ini disertakan dalam IB-19530CP atau IB-19520CCP yang menggabungkan spesifikasi pilihan daya pemprosesan tinggi.
Pengilangan 1j, bersamaan Si, Jarak tepi: 100μm
Fungsi ini disertakan dalam IB-19520CCP.
Pemegang Putaran Spesimen Besar, IB-11550LSRH, diperlukan.
Imej skrin termasuk item yang masih dalam pembangunan, dan tertakluk kepada perubahan tanpa notis.
spesifikasi
| Spesifikasi pemprosesan tinggi ※ 1 | |||
|---|---|---|---|
| IB-19530CP+IB-10500HMS | IB-19520CCP+IB-10500HMS | ||
| Voltan pecutan ion | 2 hingga 10kV | ||
| Kelajuan pengilangan | 1200μm/j atau lebih (voltan memecut 10 kV)※ 2 | ||
| Fungsi ayunan spesimen ※ 3 | Ayunan spesimen automatik sebanyak ±30°, Ayunan tetapan sudut | ||
| Mod permulaan pengilangan automatik | ○ | ||
| Mod permulaan pengilangan penyejukan automatik / Auto kembali ke mod suhu bilik |
- | ○ | |
| Suhu penyejukan muktamad peringkat spesimen | - | –120°C atau kurang | |
| Julat tetap suhu penyejukan | - | －120 hingga 0°C | |
| Masa penyejukan spesimen untuk mencapai -100°C | - | Dalam masa 60min | |
| Masa pengekalan penyejukan spesimen | - | 8j atau lebih ※ 4 | |
| Fungsi pengasingan udara | - | - | |
| Mod pengilangan sekejap | Masa penyinaran pancaran ion dan masa berhenti boleh ditetapkan (HIDUP: 1 hingga 999s, MATI: 1 hingga 999s) | ||
| Mod pengilangan halus | Keadaan pengilangan ditukar secara automatik | ||
| Mod pengilangan keratan rentas kawasan besar ※ 5 | Lebar pengilangan maksimum: 8mm (dengan Pemegang Pengilangan Kawasan Besar pilihan IB-11730LMH) | ||
| Mod pengilangan permukaan planar kawasan besar | ○ ※ 6 | ||
| Maksimum saiz spesimen |
Cross-section pengilangan |
11mm(W)×10mm(L)×2mm(T) (dengan pemegang standard untuk IB-19530CP) 11mm(W)×8mm(L)×3mm(T) (dengan pemegang standard untuk IB-19520CCP) 25mm(W)×15mm(L)×10mm(T) (dengan Pemegang Pengilangan Kawasan Besar pilihan IB-11730LMH) |
|
| Permukaan satah pengilangan |
40mm(diameter)×15mm(T) (dengan Pemegang Putaran Spesimen Besar pilihan IB-11550LSRH) | ||
| Pergerakan spesimen | Paksi-X: ±6mm, paksi-Y: ±2.5mm | ||
| Operasi | Panel sentuh, paparan 6.5 inci | ||
| Kedudukan untuk pengilangan | Pantau dari atas pentas spesimen dengan kamera ※ 7. Kedudukan pengilangan boleh dilaraskan dengan mikroskop optik. |
||
| Kamera kedudukan (pembesaran) | lebih kurang ×70 (pada paparan 6.5 inci) | ||
| Kamera pemantauan (pembesaran) | lebih kurang ×20 hingga 100 (pada paparan 6.5 inci) *Nota: Apabila digunakan dengan IB-19530CP+IB-14510MCAM ※ 8 atau IB-19520CCP. |
||
| Output monitor luaran | Kamera penentududukan dan kamera Pemantauan boleh ditukar untuk memaparkan satu pada monitor luaran. *Nota: Apabila digunakan dengan IB-19530CP + IB-14510MCAM ※ 9 atau IB-19520CCP + EC-10020VST ※ 9. |
||
| Fungsi pratetap | 4 set keadaan pengilangan (voltan memecut, aliran gas Ar, masa pengilangan, pengilangan sekejap) | ||
| Dimensi dan berat | Unit asas | 545mm(W)×550mm(D)×420mm(H), Anggaran. 66kg (dengan IB-19530CP + IB-14510MCAM dilampirkan) 690mm(W)×720mm(D)×530mm(H), Anggaran. 75kg (dengan IB-19520CCP dilampirkan) |
|
| Pam berputar | 120mm(W)×288.5mm(D)×163mm(H), Lebih kurang. 9.3kg | ||
Keperluan Pemasangan
| Bekalan kuasa | Fasa tunggal 100 hingga 120V AC, 50/60Hz, Turun naik voltan masukan yang dibenarkan: kurang daripada 10%, Penilaian: 15A atau lebih |
|---|---|
| Penggunaan kuasa maksimum | 650VA |
| Grounding | 100 Ω atau kurang |
| Gas argon ※ 10 | Argon kering, Ketulenan: 99.9999% atau lebih. Tekanan: 0.1 hingga 0.2MPa (1.0 hingga 2.0kgf/cm2), Sambungan hos: ISO 7/1 Rc 1/4 |
| Suhu bilik | 15 hingga 25 ° C |
| Kelembapan bilik | 60% atau kurang (tanpa pemeluwapan) |
Ini adalah pilihan, yang ditambahkan pada masa penghantaran dari kilang.
Pengilangan 1 jam, bersamaan Si, Jarak tepi 100 μm
No. Paten (Jepun): 4557130
Memandangkan suhu yang ditetapkan lebih tinggi, masa pengekalan penyejukan lebih lama.
Mod ini boleh digunakan dalam kombinasi dengan fungsi penyejukan IB-19520CCP.
Apabila digunakan dengan IB-11550LSRH.
No. Paten (Jepun): 4208658
Dengan IB-14510MCAM dilampirkan, spesimen boleh dipantau dalam masa nyata.
Status spesimen boleh diperhatikan semasa pengilangan sedang dijalankan.
Pemantau luaran mesti disediakan oleh pelanggan.Dengan EC-10020VST dilampirkan, imej kamera boleh dipaparkan pada monitor luaran.
Pemantau luaran mesti disediakan oleh pelanggan.Gas argon, silinder gas dan pengawal selia mesti disediakan oleh pelanggan.
Spesifikasi dan penampilan instrumen tertakluk kepada perubahan tanpa notis.
Muat turun Katalog
IB-10500HMS CROSS SECTION POLISHER™ Sistem Pengilangan High Throughput
Produk Berkaitan
Produk Berkaitan
Mikroskop Elektron Pengimbasan Pancaran Medan Schottky JSM-IT800
JSM-IT800 menggabungkan "Senapang elektron pelepasan medan Schottky Plus dalam kanta" kami untuk pengimejan resolusi tinggi kepada pemetaan unsur pantas, dan sistem kawalan optik elektron inovatif "Neo Engine", serta sistem GUI lancar "SEM Center" untuk pemetaan unsur pantas dengan spektrometer sinar-X (EDS) penyebaran tenaga JEOL terbenam sepenuhnya, sebagai platform biasa.
JSM-IT800 membenarkan penggantian kanta objektif SEM sebagai modul, menawarkan versi berbeza untuk memenuhi pelbagai keperluan pengguna. Dengan JSM-IT800, lima versi tersedia dengan kanta objektif yang berbeza: versi kanta hibrid (HL), yang merupakan FE-SEM tujuan umum; versi kanta super hibrid (SHL/SHL, dua versi dengan fungsi berbeza), yang membolehkan pemerhatian dan analisis resolusi lebih tinggi; dan versi separa dalam kanta yang baru dibangunkan (i/is, dua versi dengan fungsi berbeza), yang sesuai untuk pemerhatian peranti semikonduktor.
Tambahan pula, JSM-IT800 juga boleh dilengkapi dengan Pengesan Elektron Tersebar Balik Scintillator (SBED) dan Pengesan Elektron Tersebar Belakang Serbaguna (VBED). SBED membolehkan pemerolehan imej dengan responsif tinggi dan menghasilkan kontras bahan yang tajam walaupun pada voltan pecutan rendah, manakala VBED boleh membantu mendapatkan imej kontras 3D, topografi dan bahan. Oleh itu, JSM-IT800 boleh membantu pengguna mendapatkan maklumat yang tidak diperolehi dan menyelesaikan masalah dalam pengukuran.
IB-19520CCP CROSS SECTION POLISHER™
Kerosakan terma boleh dikurangkan dengan menyejukkan spesimen dengan nitrogen cecair semasa pemprosesan. Direka bentuk untuk menyekat penggunaan nitrogen cecair, membenarkan tempoh penyejukan yang lama.<br>Penyejukan pantas spesimen semasa direndam dalam nitrogen cecair. Kembali ke suhu bilik. Direka bentuk untuk membolehkan bahagian ditanggalkan.<br>Menggabungkan mekanisme untuk membolehkan proses daripada penggilapan kepada pemerhatian dilakukan tanpa mendedahkan sampel ke udara.
IB-19530CP CROSS SECTION POLISHER™
IB-19530CP menampilkan peringkat pelbagai guna yang direka secara inovatif untuk memenuhi keperluan pasaran yang semakin pelbagai dan merealisasikan pelbagai fungsi oleh pelbagai jenis pemegang fungsi. Peringkat pelbagai guna digabungkan dengan pemegang fungsi khusus membolehkan pengguna melaksanakan pelbagai fungsi seperti pengilangan dan penggilap permukaan planar, salutan sputter serta pengilangan ion keratan rentas yang lebih tradisional.
Mikroskop Elektron Pengimbasan InTouchScope™ JSM-IT700HR
SEM- Penting dalam Operasi Makmal Harian JSM-IT700HR Memudahkan.
Bahan berskala nano memacu penemuan teknologi semasa dan pemerhatian serta analisisnya difasilitasi oleh SEM baharu dan inovatif, JSM-IT700HR.
Senapang elektron baharunya dengan resolusi spatial 1 nm dan arus probe terbesar 300 nA, digabungkan dengan antara muka perisian yang sangat mesra pengguna memudahkan pemerhatian dan analisis dalam SEM.
Reka bentuk instrumen padat juga menampilkan ruang spesimen yang besar dengan pelbagai port aksesori serta penyepaduan EDS.
JSM-IT700HR SEM Lanjutan, Berkuasa dan Mudah Digunakan.
JCM-7000 NeoScope™ Benchtop SEM
Mikroskop elektron pengimbasan atas bangku digunakan dalam pelbagai bidang, seperti industri elektrik, elektronik, kereta, mesin, kimia dan farmaseutikal. Di samping itu, aplikasi SEM berkembang untuk bukan sahaja meliputi penyelidikan dan pembangunan, tetapi juga menangani kawalan kualiti dan pemeriksaan produk di tapak pembuatan. Dengan ini, permintaan untuk kecekapan kerja yang lebih baik, operasi yang lebih pantas dan lebih mudah, dan tahap keupayaan analisis dan pengukuran yang lebih tinggi, semakin meningkat.
Mikroskop Elektron Pengimbasan Benchtop JCM-7000 direka bentuk berdasarkan konsep utama "EM yang mudah digunakan dengan navigasi lancar dan analisis langsung". JCM-7000 menggabungkan tiga fungsi inovatif; "Zeromag" untuk peralihan lancar daripada pengimejan optik kepada SEM, "Analisis Langsung" untuk mencari unsur konstituen bagi kawasan cerapan imej dan "Live 3D" untuk memaparkan imej 3D langsung yang dibina semula semasa pemerhatian SEM.
Apabila anda meletakkan JCM-7000 di sebelah mikroskop optik, analisis bahan asing dan kawalan kualiti yang lebih pantas dan lebih terperinci boleh dibuat.
Maklumat lanjut
Adakah anda seorang profesional perubatan atau kakitangan yang terlibat dalam penjagaan perubatan?
Tidak
Sila diingatkan bahawa halaman ini tidak bertujuan untuk memberikan maklumat tentang produk kepada orang ramai.