JAMP-9510F
Mikroprob Auger Pelepasan Medan
Ia adalah spektrometer elektron Auger spesifikasi tinggi dengan penganalisis hemisfera untuk menyediakan analisis daya pemprosesan yang tinggi bagi keadaan ikatan kimia di kawasan nano ke mikro, dan senapang elektron pelepasan medan juga digunakan untuk EPMA, kerana ia boleh menghantar arus elektrik yang besar dan stabil. peringkat spesimen eusentrik yang sangat tepat memungkinkan untuk melakukan analisis penebat yang mustahil sebelum ini. Ini digabungkan dengan senapang ion jenis terapung menawarkan kepelbagaian untuk mengendalikan sebarang spesimen, seperti logam dan bahan penebat, untuk mendapatkan maklumat komposisi dan maklumat kimia.
Ciri-ciri
Pengimejan spektrum
Setiap piksel mengandungi spektrum
Taburan unsur diekstrak
daripada kiub data imej spektrum
Kaedah pengimejan spektrum yang baru dibangunkan membolehkan menangkap spektrum elektron untuk setiap piksel dalam imej. Spektrum dalam kawasan yang dipilih dalam imej dan taburan unsur boleh diekstrak selepas pemerolehan data, seperti pemetaan EDS. Kaedah pengimejan spektrum menghalang kehilangan sebarang unsur dengan memperoleh data dalam julat tenaga yang luas, yang sama sekali berbeza daripada pemetaan Auger konvensional, di mana, elemen yang dipetakan harus dinyatakan terlebih dahulu. Julat tenaga pengukur dan resolusi tenaga boleh dipilih serta pemerolehan spektrum luas biasa. Pengimejan spektrum boleh digunakan bukan sahaja untuk analisis unsur tetapi juga untuk mencerminkan analisis spektroskopi kehilangan tenaga elektron (REELS).
Pangkalan data spektrum standard & perisian dekonvolusi puncak
Spektrum piawai Sn, SnO dan SnO2 tulen
Profil kedalaman keadaan kimia yang diselesaikan permukaan pateri
Pangkalan data spektrum standard lebih daripada 500 spektrum untuk 140 bahan disediakan. Perisian dekonvolusi puncak kami dengan mudah memisahkan puncak Auger yang bertindih dan juga membolehkan analisis keadaan kimia yang rumit dengan satu klik.
spesifikasi
| Sistem pencahayaan elektron | |
|---|---|
| resolusi SEI | 3nm（pada 25kV, 10pA） |
| Diameter probe untuk analisis Auger | 8nm（pada 25kV, 1nA） |
| Pistol elektron | Pistol pelepasan medan Schottky |
| Mempercepatkan voltan | 0.5 hingga 30kV |
| Arus siasatan | 10-11 hingga 2 × 10-7A |
| Pembesaran | x 25 hingga 500,000 |
| Sistem analisis auger | |
| Penganalisis | Penganalisis hemisfera elektrostatik (HSA) |
| Resolusi tenaga（ΔE/E） | 0.05 ke 0.6% |
| Kepekaan | 840,000 cps/7 ch atau lebih
(pada 10 kV 10 nA Cu-LMN, resolusi 0.6%, kecondongan 60) |
Spesifikasi boleh berubah tanpa notis.
Kebolehbagaian
Port tambahan untuk menampung lampiran berikut disediakan, menyokong pelbagai analisis.
Port tambahan untuk menampung lampiran berikut disediakan, menyokong pelbagai analisis
Unit Letak Kereta Spesimen
Peranti Penyejukan dan Pecah Spesimen
Pengesan Elektron Terserak Belakang
Spektrometer X-ray Penyerakan Tenaga (EDS)
Kapal Pemindahan
Muat turun Katalog
JAMP-9510F Mikroprob Gerimit Pelepasan Medan
Kesesuaian
Peranti semikonduktor
Pengagihan unsur dan pemetaan keadaan kimia bagi silikon bagi keratan rentas peranti semikonduktor,
diperoleh melalui pengimejan spektrum.
Berbanding dengan spektroskopi pelepasan sinar-X seperti SEM-EDS dan EPMA, resolusi spatial analisis AES adalah sangat tinggi. Analisis AES boleh digunakan untuk analisis unsur dalam medan pandangan pembesaran tinggi. Pemetaan keadaan kimia juga boleh dilakukan dengan menggunakan perbezaan bentuk puncak Auger mengikut keadaan kimia sampel.
Bahan bateri litium-ion (LIB).
Spektrum piawai Li KVV dalam bentuk pembezaan
Pemetaan unsur keratan rentas untuk bahan anod LIB
Kepekaan pengesanan litium AES adalah tinggi dan sering digunakan untuk analisis bahan bateri litium-ion. AES mengesan puncak litium daripada litium oksida dan litium karbonat dengan kepekaan yang baik kerana elektron pada atom bersebelahan terlibat dalam proses gerimit. Pemetaan litium boleh dilakukan dengan mudah dengan pengimejan spektrum.
analisis REELS
Kehilangan spektrum bahan karbon
Pengagihan karbon yang diperolehi oleh analisis AES (kiri) dan pengagihan grafit oleh analisis REELS (kanan) untuk sampel graphene pada plat kuprum
Spektroskopi kehilangan tenaga elektron pantulan (REELS) juga merupakan aplikasi penting mikroprob Auger. REELS digunakan untuk analisis bahan karbon dan juga untuk penilaian saiz celah jalur bagi semikonduktor dan penebat celah jalur lebar.
Aplikasi lain untuk JAMP-9510F
Maklumat lanjut
Adakah anda seorang profesional perubatan atau kakitangan yang terlibat dalam penjagaan perubatan?
Tidak
Sila diingatkan bahawa halaman ini tidak bertujuan untuk memberikan maklumat tentang produk kepada orang ramai.