JPS-9030
Spektrometer fotoelektron
Dengan mengguna pakai antara muka pengguna yang direka bentuk baru yang membolehkan operasi dalam persekitaran Jepun, "Pengoperasian Mudah, Segera hanya untuk Sesiapa sahaja" telah direalisasikan. Di samping itu, melengkapkan sumber ion goresan jenis Kaufman dan anod berkembar sebagai standard, JPS-9030 mempunyai pelbagai kebolehkembangan seperti sistem pemanasan suhu tinggi dan sumber ion kelompok gas.
Ciri-ciri
①Analisis kawasan luas yang boleh diukur dalam masa yang singkat
JPS-9030 ialah XPS yang boleh menganalisis kawasan luas spesimen, seperti kawasan analisis tertib milimeter, dan optimum untuk analisis nilai purata. Ia membolehkan pemerolehan maklumat spesimen tanpa mengira pengasingan dan pencemaran tempatan spesimen. Ia sesuai untuk analisis unsur analisis keadaan ikatan kimia spesimen serbuk, filem nipis, dan plat.
〇Contoh penggunaan analisis kawasan luas - Analisis unsur bahan katod LIB
Pada pandangan pertama, bahan katod LIB kelihatan seragam. Walau bagaimanapun, jika julat analisis adalah sempit, keputusan analisis unsur mungkin berbeza-beza. Adalah mungkin untuk mendapatkan maklumat purata tanpa pengaruh pencemaran tempatan dengan meluaskan julat analisis.
Pengukuran telah diambil di tiga lokasi untuk mengecilkan julat analisis.
⇒Terdapat variasi besar dalam hasil.
Pengukuran telah diambil di tiga lokasi untuk mengecilkan julat analisis.
⇒Terdapat sedikit variasi dalam hasil.
②Perisian SPECSURF membolehkan operasi mudah
Perisian yang baru dibangunkan SPECSURF Ver. 2.0 untuk bahasa Jepun, menyediakan
persekitaran operasi yang mesra pengguna dengan tetikus sahaja, dengan menggabungkan GUI gaya Ribbon dan sistem tetingkap tab.
③Konfigurasi instrumen yang membolehkan pengukuran pelbagai bahan – sumber sinar-X anod berkembar Mg/Al-
Dengan JPS-9030, sumber sinar-X monokromatik dan sumber sinar-X anod berkembar Mg/Al boleh digunakan. Sumber x-ray anod berkembar Mg/Al boleh menukar sinar-x untuk menyinari spesimen antara sinar Mg K dan sinar Al K, yang memungkinkan untuk menganalisis spesimen yang mengandungi banyak unsur dan dengannya puncak fotoelektron dan puncak Auger bertindih.
-Satu klik untuk menetapkan syarat menyimpan, membaca & tetapan
-Satu klik untuk menetapkan berbilang ukuran spesimen
-Fungsi ramalan masa siap pengukuran yang tepat membolehkan lancar
penggantian dan pengukuran spesimen
〇Contoh penggunaan sumber X-ray anod berkembar Mg/Al-Analisis spesimen yang mengandungi Fe, Ni
Pada spektrum XPS, salah satu contoh di mana puncak fotoelektron dan puncak Auger bertindih ialah spesimen yang mengandungi beberapa unsur logam peralihan. Berikut ialah contoh ukuran spesimen yang mengandungi Fe dan Ni. Ia menunjukkan bahawa pertindihan puncak yang diperhatikan dengan sumber sinar-X Al, boleh dielakkan dengan sumber sinar-X Mg.
Pengukuran oleh sumber sinar-X Al
⇒Puncak bertindih
Pengukuran oleh sumber X-ray Mg
⇒Mengelakkan pertindihan puncak
③Konfigurasi instrumen yang membolehkan pengukuran pelbagai bahan – sumber ion jenis Kaufman-
JPS-9030 memasang sumber ion jenis Kaufman sebagai sumber ion Ar. Memandangkan ia membenarkan arus elektrik yang besar, etsa praktikal boleh dilakukan walaupun pada voltan pecutan rendah. Ini memungkinkan untuk melakukan etsa sambil mengekalkan struktur spesimen.
JPS-9030 mempunyai sumber ionnya yang diletakkan di dalam ruang penyediaan spesimen, mengehadkan pencemaran yang disebabkan oleh etsa dalam ruang penyediaan spesimen, dengan itu menghalang ruang analisis yang menyimpan vakum ultra-tinggi daripada pencemaran.
〇Contoh penggunaan sumber ion jenis Kaufman-Mo/Si cermin filem berbilang lapisan untuk litografi EUV
JPS-9030 boleh menyinari ion Ar dengan pecutan rendah dari arah menegak dari spesimen. Ia boleh digunakan untuk analisis profil kedalaman filem berbilang lapisan ultra-nipis. Berikut menunjukkan keputusan analisis profil kedalaman cermin filem berbilang lapisan Mo/Si untuk litografi EUV.
Adalah mungkin untuk menilai filem nipis kira-kira 10nm/lapisan dengan mengambil struktur lapisan dan menilai ketajaman antara muka.
③Konfigurasi instrumen membolehkan pengukuran pelbagai bahan – Pelbagai lampiran lain-
JPS-9030 menyediakan pelbagai pilihan. Selain itu, kami bersedia untuk menghasilkan lampiran mengikut permintaan pengguna kami.
Banyak pilihan
Sumber sinar-X monokromatik yang boleh meningkatkan resolusi tenaga
Sumber ion gugusan gas ar yang sesuai untuk spesimen organik yang mudah rosak
Sistem pemanasan inframerah meningkatkan suhu sehingga 1,000°C
Kapal pemindahan yang menyokong pemindahan terpencil udara bagi spesimen
Seperti di atas, banyak pilihan tersedia, untuk bertindak balas kepada sebarang keperluan pelanggan.
Apa yang boleh dilakukan dengan XPS
Contoh analisis (aplikasi) dengan menggunakan XPS adalah seperti berikut.
Analisis unsur permukaan atas
XPS membolehkan analisis unsur permukaan atas spesimen (10nm atau lebih rendah).
Oleh itu, adalah mungkin untuk menganalisis bahan cemar organik yang sukar ditentukan dengan rupa.
PET(kiri) dan PET tercemar dengan silikon pada permukaan(kanan)
Spektrum C 1s PET, PET dengan silikon
Analisis keadaan ikatan kimia
Selain analisis unsur, XPS boleh melakukan analisis keadaan ikatan kimia.
Sebagai contoh, dengan bateri litium-ion, adalah mungkin untuk menilai jenis sebatian untuk Li yang ada pada elektrod.
Struktur bateri ion litium
Spektrum Li 1s pelbagai sebatian Li
Analisis profil kedalaman
Dengan melakukan analisis profil kedalaman menggunakan XPS, adalah mungkin untuk menilai struktur lapisan spesimen yang sangat nipis kira-kira 10nm kepada spesimen beberapa mikron ketebalan dan keadaan ikatan kimia pada antara muka.
Gambar rajah skema salutan antireflektif pada permukaan kaca
Keputusan analisis profil kedalaman salutan antireflektif
spesifikasi
| intensiti
(Mg Kα, setara 300W) |
1,000,000 cps atau lebih (Resolusi tenaga (FWHM) untuk Ag 3d5/2 1.00 eV atau kurang) |
|---|---|
| Sumber sinar-X | Voltan pecutan maksimum dan arus pelepasan: 12kV, 50 mA, sasaran berkembar Mg/Al |
| Kanta pencahayaan | Kanta elektrostatik silinder tiga peringkat |
| Penganalisis tenaga | Penganalisis hemisfera elektrostatik |
| Kaedah sapuan tenaga | Kaedah Tenaga Penganalisis Malar Kaedah Nisbah Retartan Malar |
| Pengesan | Plat berbilang saluran |
| Sumber ion goresan | Jenis Kaufman berkelajuan tinggi |
| Tekanan muktamad | 7 × 10-8 Pa atau lebih rendah |
Muat turun Katalog
Spektrometer Fotoelektron JPS-9030
Kesesuaian
Permohonan JPS-9030
Aplikasi MALDI: Analisis filem nipis organik
Galeri
Maklumat lanjut
Adakah anda seorang profesional perubatan atau kakitangan yang terlibat dalam penjagaan perubatan?
Tidak
Sila diingatkan bahawa halaman ini tidak bertujuan untuk memberikan maklumat tentang produk kepada orang ramai.