IB-07080ATLPS, IB-77080ATLPS
Spesimen TEM automatik
Sistem Penyediaan STEMPLING

Sistem Penyediaan Spesimen TEM Automatik STEMPLING ialah perisian untuk penyediaan spesimen TEM automatik dengan menggunakan FIB. Sistem ini dibangunkan untuk memenuhi keperluan penyediaan spesimen menggunakan FIB, seperti operasi mudah yang boleh dilakukan oleh sesiapa sahaja, dan untuk teknologi yang membolehkan penciptaan sejumlah besar spesimen. Disebabkan oleh STEMPLING, kemahiran pakar yang tinggi tidak diperlukan untuk penyediaan spesimen, membolehkan sesiapa sahaja menyediakan spesimen dengan mudah. Selain itu, memandangkan sistem membenarkan penyediaan berbilang spesimen tanpa pengawasan, kecekapan kerja boleh dioptimumkan melalui operasi semalaman untuk mencipta sejumlah besar spesimen.
STEMPLING boleh digunakan dengan Sistem Multi Beam JIB-4700F dan Sistem Pengilangan & Pengimejan Rasuk Ion Berfokus JIB-4000PLUS.

Ciri-ciri

Pelbagai spesimen boleh disediakan dengan tetapan yang mudah

Resipi standard disediakan untuk menyediakan 5 jenis spesimen seperti spesimen TEM dan spesimen keratan rentas.
Ia boleh digunakan dalam pelbagai adegan penyediaan spesimen menggunakan FIB.

Rajah.1 Spesimen yang boleh disediakan menggunakan resipi standard. Spesimen: wafer silikon

Pelbagai spesimen boleh disediakan dengan pemprosesan automatik

Fungsi pelarasan automatik pancaran ion membolehkan penyediaan automatik berbilang spesimen dalam jangka masa yang panjang.
Ini menyedari penyediaan spesimen tanpa pengawasan semalaman. Rajah 2 menunjukkan keputusan penyediaan spesimen TEM berterusan selama kira-kira 8 jam.
10 spesimen disediakan, kesemuanya disediakan dengan cara yang sama, menunjukkan bahawa penyediaan spesimen automatik adalah stabil.

Rajah 2 Contoh penyediaan spesimen TEM berterusan jangka panjang (8 jam) Spesimen: Wafer silikon

Saiz filem nipis: 10µm(W) x 7µm(H)
Ketebalan filem nipis: 100nm

Penyediaan spesimen TEM yang boleh dipercayai bagi spesimen tidak rata

Dengan pelarasan eusentrik automatik, adalah mungkin untuk menyediakan spesimen secara automatik secara stabil, walaupun daripada bahan yang mempunyai permukaan yang tidak rata atau ketinggian yang berbeza.
Rajah 3 menunjukkan spesimen filem nipis yang disediakan dengan menggunakan spesimen permukaan tidak rata yang mempunyai langkah kira-kira 70µm.
Spesimen filem nipis dibuat dengan betul di bahagian atas dan bahagian bawah anak tangga. 

Rajah 3 Contoh penyediaan spesimen TEM dengan pelbagai ketinggian permukaan (Spesimen: grid spesimen TEM (Cu) pada wafer Si)

Instrumen yang berkenaan

pautan

Sistem Pengilangan & Pengimejan Rasuk Ion Berfokus JIB-4000PLUS

Tapak Khas Sistem Multi Beam JIB-4700F

Sistem Pancaran Berbilang JIB-4700F

Muat turun Katalog

IB-07080ATLPS, IB-77080ATLPS Automatik Sistem Penyediaan Spesimen TEM STEMPLING

Maklumat lanjut