Tutup Btn

Pilih tapak Serantau Anda

Tutup

JSM-IT510
Pengimbasan InTouchScope™
Mikroskop Elektron

Mikroskop Elektron Pengimbasan InTouchScope™ JSM-IT510

Mudah untuk memperoleh data untuk semua jenis spesimen

Mikroskop elektron pengimbasan (SEM) adalah alat yang sangat diperlukan bukan sahaja untuk penyelidikan tetapi juga untuk jaminan kualiti dan tapak pembuatan.
Pada adegan tersebut, proses pemerhatian yang sama perlu dilakukan berulang kali dan terdapat keperluan untuk meningkatkan kecekapan proses tersebut.

Dengan JSM-IT510, fungsi SEM Mudah yang baru ditambah membolehkan pengguna "meninggalkan operasi berulang manual kepadanya", yang diperlukan untuk pemerhatian SEM, menjadikan pemerhatian SEM lebih cekap dan lebih mudah.

Ciri-ciri

 

SEM mudah

Hanya pilih medan sasaran

SEM ringkas menyokong kerja rutin harian.

Spesimen: Peranti elektronik
Voltan pecutan: 15 kV, (Atas) Pembesaran: ×50 (Bawah) ×1,000, Isyarat: BE

Video yang memperkenalkan JSM-IT510

Fungsi SEM Mudah diperkenalkan.

◆Mengklik butang Main memulakan video (lebih kurang 2 minit).

 

Navi Pertukaran Spesimen

Panduan daripada pertukaran spesimen kepada pemerhatian automatik

Selamat dan mudah! Navi Pertukaran Spesimen

1. Ikuti panduan Navi untuk menetapkan spesimen

 

2. Bersedia untuk pemerhatian semasa pemindahan

  • Sistem Navigasi Peringkat (SNS) adalah pilihan.

  • SNS Large Sample (SNSLS) adalah pilihan. Serasi dengan SNS.

  • Chamber Scope (CS) adalah pilihan.

 

3. Mulakan pemerhatian secara automatik

Pembentukan imej automatik selepas pemindahan.

 

Zeromag

Besarkan imej optik *1, peralihan kepada imej SEM

Fungsi Zeromag memudahkan navigasi menyediakan peralihan yang lancar daripada imej optik kepada SEM.
SEM, imej optik dan grafik pemegang semuanya dipautkan untuk paparan global lokasi analisis.

  • Sistem Navigasi Peringkat (SNS) diperlukan untuk memaparkan imej optik.

Spesimen: Fosil ammonit
Voltan pecutan: 7 kV, Isyarat: BE

 

Analisis Langsung / Peta Langsung*2

EDS terbenam untuk komposisi unsur Masa Nyata semasa pemerhatian

Analisis Langsung ialah fungsi yang memaparkan spektrum EDS atau peta elemen dalam Masa Nyata semasa pemerhatian imej. Fungsi ini boleh menyokong carian dan memberikan amaran untuk elemen sasaran.

  • Analisis Langsung ialah standard untuk A (Analisis) / LA (Low Vacuum & Analysis).

 

Spesimen: Fosil ammonit
Voltan pecutan: 15 kV, Pembesaran: ×1,000

Analisis mudah

Analisis EDS boleh dimulakan dalam 3 klik.

Video yang memperkenalkan JSM-IT510

Fungsi Peta Langsung diperkenalkan.

◆Mengklik butang Main memulakan video (lebih kurang 2 minit).

 

Pelbagai pilihan lanjutan

Pengesan Elektron Menengah Hibrid vakum rendah (LHSED)*

Pengesan baharu ini mengumpul kedua-dua isyarat elektron dan foton yang memberikan imej dengan S/N tinggi dan maklumat topografi yang dipertingkatkan.

  • LHSED adalah pilihan. Dan LV (Low Vacuum) atau LA (Low Vacuum & Analysis) juga diperlukan.

Mekanisme LHSED

Spesimen: Plaster
Voltan pecutan: 7 kV, Pembesaran: x10,000, Isyarat: LV SE

Live 3D *

Imej yang diperoleh oleh pengesan BE kuadran baharu* boleh dipaparkan sebagai imej 3D langsung.
Imej 3D boleh mewakili bentuk spesimen dengan jelas, walaupun bagi mereka yang mempunyai maklumat topografi yang halus.

  • Live 3D ialah standard dalam LV (Low Vacuum), LA (Low Vacuum & Analysis). Pengesan BE (pilihan) boleh dilengkapi pada BU (Unit Asas), A (Analisis). 

Spesimen: Skru
Voltan memecut: 15 kV Pembesaran: x100 Isyarat: BE

Montaj

Fungsi montaj mengautomasikan pengumpulan imej kawasan besar dan jahitan imej ini menjadi imej komposit.

Spesimen: Fosil ammonit
Voltan pecutan: 15 kV, Pembesaran: x150, Isyarat: BE, Bilangan medan: 13 x 13

  • Sistem Navigasi Peringkat (SNS) diperlukan untuk memaparkan imej optik.

Paparkan kedalaman isyarat

Fungsi ini memaparkan kedalaman analisis (lebih kurang) dalam spesimen.
Untuk analisis elemen, ia sangat berguna.

pautan

  • Baru dilancarkan

spesifikasi

Data teknikal

Siri JSM-IT510 boleh dilengkapi dalam 4 konfigurasi berikut: BU (Unit Asas) / A (Analisis) / LV (Low Vacuum) / LA (Low Vacuum & Analysis).

BU (Unit Asas) Jenis asas untuk pemerhatian di bawah vakum tinggi
A (Analisis) Jenis analisis, EDS dilampirkan pada BU sebagai standard
LV (Vakum Rendah) Jenis Vakum Rendah, untuk operasi vakum tinggi dan rendah. KATIL termasuk.
LA (Vakum & Analisis Rendah) Jenis vakum rendah, untuk operasi vakum tinggi dan rendah, BED dan EDS disertakan.

spesifikasi SEM

Resolusi Mod vakum tinggi
3.0 nm (30 kV), 15.0 nm (1.0 kV)
Mod vakum rendah※ 1
4.0 nm (30 kV BED)
Pembesaran foto ×5 hingga ×300,000 
(Ditakrifkan dengan saiz foto 128 mm × 96 mm)
Paparan pembesaran ×14 hingga ×839,724
(Ditakrifkan dengan saiz foto 358 mm × 296 mm)
Pistol elektron Filamen W, penjajaran pistol automatik sepenuhnya
Voltan pendaratan 0.3 kV untuk 30 kV
tekanan LV
pelarasan※ 1
10 hingga 650 Pa
Bukaan kanta objektif Empat peringkat, dengan fungsi pelarasan halus XY
Fungsi automatik Pelarasan filamen, pelarasan penjajaran pistol
Penjajaran rasuk
Fokus/ Astigmatisme / Kecerahan / Pembetulan kontras
Spesimen maksimum
saiz
200 mm diameter × 75 mm tinggi
200 mm diameter × 80 mm tinggi※ 3
32 mm diameter × 90 mm tinggi※ 3
Tahap spesimen Peringkat eusentrik besar
X:125 mm Y:100 mm Z:80 mm
kecondongan: -10 hingga 90° putaran: 360°
Mod gambar Imej elektron sekunder, imej REF, Imej komposisi* 1
Imej topografi※ 1, Imej bayangan※ 1、gambar PD※ 4
Saiz imej 640 × 480 1,280 × 960
2,560 × 1,920 5,120 × 3,840
Fungsi bantuan foto Montaj, SEM Mudah, Zeromag, 3D Langsung
Sokongan operasi
fungsi
Resipi (Resepi standard / Resipi tersuai)
Pengukuran (jarak antara 2 titik, jarak antara garis selari, sudut, diameter dll.)
Navi pertukaran spesimen
Fungsi kedalaman isyarat
Pengukuran 3D※ 5
OS microsoft® Windows®10 64bit
Pemantau pemerhatian Panel sentuh 23.8 inci
fungsi EDS※ 2 Rujuk spesifikasi EDS
Pengurusan Data Makmal SMILE VIEW™
Penjanaan laporan
Laporan satu klik
Output kepada Microsoft®Perkataan
Output kepada Microsoft®PowerPoint※ 6
Pertukaran bahasa Jepun, Inggeris, Cina※ 7 (boleh dikendalikan pada UI)
Sistem vakum Automatik penuh, TMP: 1, RP: 1 atau 2※ 1

Pilihan utama

  • Pengesan Elektron Terserak Belakang (BED)*1

  • Pengesan Elektron Menengah Hybird Vakum Rendah (LHSED)

  • Pengesan Elektron Sekunder Vakum Rendah (LVSED)

  • Spektrometer X-ray Penyerakan Tenaga (EDS)*2

  • Spektrometer X-ray Penyebaran Panjang Gelombang (WDS)

  • Corak Difraksi Hamparan Belakang Elektron (EBSD)

  • Ruang Kunci Muatan (ruang pra-pemindahan)

  • Sistem Navigasi Peringkat (SNS)

  • Sampel Besar Sistem Navigasi Peringkat (SNSLS)

  • Skop Dewan (CS)

  • Panel Operasi (OP2)

  • Lab6Pistol Elektron (LAB6)

  • Perisian Analisis 3D (SVM)

  • Jadual (TBL)

Spesifikasi EDS

Berkenaan dengan A (Analisis) / LA (Low Vacuum & Analysis)
●:Standard ○:Pilihan

Standard
Kawal PC OS:Microsoft®Windows®10 64bit※ 8
Bahasa Jepun / Inggeris / Cina※ 7
Pengesan jenis SDD Pilih daripada
senarai pengesan
Analisis spektrum Analisis kualitatif (pengenalan puncak, analisis kualitatif automatik)
ID puncak visual
Analisis kuantitatif tanpa piawai (kaedah ZAF)
Analisis kuantitatif piawai (kaedah ZAF)※ 9
Kaedah PHI-RHO-Z (PRZ): kaedah pembetulan kuantitatif
QBase (Pangkalan data analisis kualitatif)
Analisis garisan Analisis garisan (arah selari & arbitrari)
Peta unsur Peta unsur (peta dengan berbilang warna, monokrom, superimposisi berbilang warna)
Peleraian piksel maksimum: 4,096 × 3,072
Spektrum pop timbul masa nyata
Peta dekonvolusi (peta kiraan bersih, peta kuantitatif)
Peta kiraan bersih masa nyata
Penapis masa nyata
Paparan profil baris
Penjejakan siasatan
Analisis main balik (peta spektrum diselesaikan masa)
Analisis bersiri Analisis spektrum, Analisis garisan, Peta unsur
Analisis komprehensif data yang telah dianalisis (analisis kualitatif & kuantitatif)
Montaj Montaj automatik (imej SEM, peta Elemen)
Pemetaan unsur bersiri untuk berbilang kawasan
Perisian analisis zarah ・Analisis zarah (auto / manual) & analisis EDS,
 Klasifikasi data analisis zarah,
 Paparan graf data analisis zarah diproses statistik,
 Analisis zarah bersiri kawasan besar
・Perpustakaan GSR (Gun Shot Residue).
・Perpustakaan analisis ciri logam
・Perpustakaan analisis kebersihan alat ganti kereta

 



Penjanaan laporan Makmal SMILE VIEW™
Output sebagai Microsoft®Word, Microsoft®fail PowerPoint※ 6
Integrasi SEM Pengurusan bersepadu data pemerhatian & analisis
Menentukan kedudukan analisis pada skrin operasi SEM (Analisis langsung pada UI untuk SEM)
Paparan grafik kedudukan analisis
Membantu berfungsi Panduan bantu
Pengesan dwi Analisis dengan dua pengesan※ 10
Fungsi luar talian Perisian lesen untuk analisis data luar talian
  • Standard dalam JSM-IT510LV / LA.

  • Standard dalam JSM-IT510A / LA.

  • Pemegang pilihan diperlukan.

  • LHSED (pilihan) diperlukan.

  • SVM (pilihan) diperlukan.

  • Microsoft® Offce mesti dipasang.

  • Bahasa Cina adalah pilihan.

  • Untuk JSM-IT510A / LA, perisian EDS dipasang pada PC yang sama dengan perisian kawalan SEM.

  • Unit pampasan arus probe pilihan (pilihan) diperlukan. Pemantauan automatik arus probe hanya boleh dilakukan apabila EDS disambungkan ke PC mikroskop.

  • Dua pengesan EDS dengan saiz penderia aktif yang sama diperlukan. Terdapat had untuk pergerakan pentas bergantung pada port pemasangan.

Spesifikasi boleh berubah tanpa notis.
Microsoft, Windows, PowerPoint dan Microsoft Office ialah tanda dagangan berdaftar Microsoft Corporation di Amerika Syarikat dan negara lain.
Microsoft Word ialah nama produk Microsoft Corporation.

Muat turun Katalog

Kesesuaian

Permohonan JSM-IT510

Galeri

Logam

Pemerhatian kristal keluli

Untuk bahan berhablur, seperti logam, kontras (menyalurkan kontras) yang disebabkan oleh perbezaan dalam orientasi kristal boleh digambarkan.

Spesimen: Keratan rentas keluli tegangan tinggi, Voltan pecutan: 5 kV,
 Pembesaran: x500, Isyarat: BE

CROSS SECTION POLISHER™ (CP) direka untuk menghasilkan keratan rentas atau pengilangan permukaan dengan menggunakan rasuk ion Ar yang luas untuk menyinari spesimen.
Berbanding dengan pengilangan mekanikal, CP boleh dengan mudah menghasilkan keratan rentas yang halus tanpa herotan.

  • Dijual berasingan.

Pemerhatian permukaan patah

Pemerhatian permukaan patah oleh SEM digunakan secara meluas untuk mengkaji punca kegagalan dan pertumbuhan retak.

Semikonduktor

Menentang pemerhatian corak

Dalam fabrikasi semikonduktor, pengurusan kualiti rintangan oleh SEM adalah sangat penting.
Proses ini boleh disahkan dengan pengimejan keratan rentas corak rintangan. Mengukur lebar garis juga boleh.

Keratan rentas corak rintangan (condongkan hingga 35°)

Voltan pecutan: 8 kV, Pembesaran: x30,000, Isyarat: SE

Tahan corak yang ditulis pada wafer Si

Voltan pecutan: 10 kV, Pembesaran: x3,000, Isyarat: SE

Voltan pecutan: 10 kV, Pembesaran: x20,000, Isyarat: SE

Pemeriksaan papan litar bercetak (PCB).

SEM ialah instrumen yang berkesan dalam pengurusan kualiti PCB.
Keadaan vakum yang rendah membolehkan pemerhatian langsung PCB tanpa pra-rawatan.

 
Pemeluwap cip pada PCB

Voltan pecutan: 15 kV, Pembesaran: x45, Isyarat: Isyarat bercampur
(Elektron serakan belakang LV: Elektron sekunder LV = 3:7)

Perisian analisis imej* membenarkan mengukur lebar garisan secara automatik.

  • Pilihan. MultiImageTool (dihasilkan oleh SYSTEM IN FRONTIER INC.)

Bahan lembut / Polimer

JSM-IT510 di bawah keadaan vakum yang rendah sesuai untuk pemerhatian langsung spesimen bukan konduktif, seperti polimer dan topeng superabsorben.

Polimer superabsorben

Voltan pecutan: 10 kV, Pembesaran: x1,000, Isyarat: LV SE

Topeng bukan tenunan

Voltan pecutan: 10 kV, Pembesaran: x50, Isyarat: LV BE

Voltan pecutan: 10 kV, Pembesaran: x1,000, Isyarat: LV BE

Topeng uretana

Voltan pecutan: 10 kV, Pembesaran: x50, Isyarat: LV BE

Ia adalah mungkin untuk mendapatkan imej SE dan imej BE secara serentak.
Imej SE menyediakan maklumat bentuk.
Imej BE menunjukkan kawasan terang yang menunjukkan komposisi nombor atom yang lebih tinggi untuk kawasan ini.

Biologi

Bentuk normal spesimen biologi, seperti sel atau mikroorganisma, boleh disahkan selepas pra-merawatnya dengan kaedah penetapan kimia atau pengeringan beku untuk mengekalkan bentuknya.

Maklumat lanjut

Asas Sains

Penerangan mudah tentang mekanisme dan
aplikasi produk JEOL

Tutup
Notis

Adakah anda seorang profesional perubatan atau kakitangan yang terlibat dalam penjagaan perubatan?

Ya

Tidak

Sila diingatkan bahawa halaman ini tidak bertujuan untuk memberikan maklumat tentang produk kepada orang ramai.

Hubungi

JEOL menyediakan pelbagai perkhidmatan sokongan untuk memastikan pelanggan boleh menggunakan produk dan perkhidmatan kami dengan puashati.
Sila hubungi kami.