Asas EDM (Pemodulat Dos Elektrostatik)

Ciri-ciri

• Kelajuan sepantas kilat:
  Sistem EDM mencapai masa penukaran lebih cepat daripada 20 ns.

• Pelarasan keamatan bebas:
  Dengan menghidupkan dan mematikan rasuk dengan cepat dengan lebar nadi yang berubah-ubah, EDM memudahkan untuk melaraskan keamatan rasuk purata tanpa mengubah keadaan imej. Tombol aksesori desktop menyediakan antara muka intuitif untuk melaraskan faktor pengecilan dos.

• Penstrukturan dos:
  Pengguna boleh mengawal pencahayaan mereka dengan menggunakan dos dalam denyutan dengan tempoh berubah-ubah sependek 100 ns dan frekuensi sehingga 500 kHz.

• Perisian kawalan moden:
  EDM berfungsi di luar kotak sebagai blanker pancaran pantas. Perisian kawalan disertakan untuk pengecilan dos boleh atur cara, pengelogan dan banyak lagi.

• Integrasi:
  EDM bertindak sebagai penghalang pancaran pra-sampel yang boleh dipercayai dengan pantas sambil menyokong Sistem Sub-Framing Relativiti serta perkakasan pihak ketiga.

Pencahayaan TEM rasuk berdenyut*

Pencahayaan STEM rasuk berdenyut*

Pengecilan dos dengan pencahayaan berdenyut dengan Frekuensi 500 kHz (2 μs) dalam STEM resolusi tinggi pada 300 kV menggunakan Si[110] dalam keadaan masa tinggal piksel dengan 19 μs/piksel (1,024 x 1,024 piksel), dengan menukar catuan tempoh daripada 90% hingga 50% semasa pemerolehan satu imej STEM dalam 20 saat.

spesifikasi

Pengosongan rasuk pantas

Pengecilan dos

Pilihan EDM

Model berkenaan: JEM-ARM300F2, JEM-ARM200F (CFEG), NEOARM (CFEG), JEM-F200 (CFEG), JEM-3300, JEM-Z200FSC, JEM-Z200CA

Galeri

◆Klik butang "main semula" dalam kotak di atas, dan filem akan bermula (2.5 min.)◆

Pengimejan DPC yang diselesaikan masa dengan EDM

Modulator Dos Elektrostatik (EDM) menjadikan pengukuran stroboskopik mudah untuk TEM dan STEM. Dalam nota aplikasi ini, pencahayaan berdenyut meningkatkan peleraian masa pengimejan Kontras Fasa Berbeza (DPC) menggunakan pengesan bersegmen SAAF Quad yang sudah pantas¹. Sampel² dipasang pada cip dalam pemegang sampel berat sebelah dari Hummingbird Scientific. Semasa setiap piksel STEM, penjana bentuk gelombang menaikkan voltan pincang antara -5 V dan +5 V. Selepas masa tunda yang berubah-ubah, nadi aras logik kepada input pengatup elektrostatik pantas menghidupkan rasuk siasatan selama 2 μs. Pengumpulan data boleh diautomasikan.

Dengan mengubah masa tunda denyut pendedahan, sampel diukur pada masa yang berbeza semasa bentuk gelombang pincang. Imej STEM lengkap direkodkan untuk setiap masa tunda (ditunjukkan sebagai titik dalam rajah pemasaan di sebelah kiri). Walaupun setiap imej STEM mengambil masa lebih daripada 10 saat untuk dirakam, resolusi masa pengukuran ditetapkan oleh nadi pendedahan 2 μs. Pengujaan sampel boleh dicapai menggunakan pemegang in-situ, IDES Luminary^TM Mikro atau sistem lain yang menghasilkan dinamik berulang dalam sampel.

Imej terpilih daripada ukuran tr-DPC bagi kapasitor SiC MOS. Medan dalam sampel diperhatikan oleh pesongan rasuk pada setiap kedudukan probe. Keamatan dalam baris atas imej menunjukkan magnitud pesongan ini, dan warna menunjukkan arah. Perbezaan ini menunjukkan kepadatan caj dan dikira secara automatik oleh perisian pemerolehan (baris bawah imej). Medan tertumpu pada antara muka oksida antara SiC (kiri) dan Al (kanan). Pada t = 15 μs, pincang melintasi sifar volt dan medan mengubah polariti.

1. Keadaan pengukuran: Instrumen JEM-F200, voltan pecutan 200 kV, mod STEM Lorenz, masa tinggal 50 mikrosaat, bilangan piksel 512 × 512. Gambar rajah persediaan eksperimen dipermudahkan. Untuk maklumat konfigurasi terperinci, rujuk pejabat jualan JEOL tempatan anda.

2. Sampel ialah kapasitor MOS yang dibuat daripada Al, SiO₂, dan SiC jenis-n, tebal 200 nm, disediakan oleh Fuji Electric Co. Ltd.

Produk Berkaitan

Produk Berkaitan

Luminary Ultrafast TEM / Dynamic TEM

Sistem Photoexcitation Spesimen Mikro Padat Luminary

Sistem subframe elektrostatik Relativiti

STEM boleh atur cara dengan EDM Synchrony

Kawal dos pada setiap piksel.

Modulator Dos Elektrostatik (EDM) ialah sistem pengosongan rasuk pantas dengan pemesong elektrostatik pra-sampel, termasuk kawalan elektronik dan perisian. EDM juga boleh melemahkan pencahayaan elektron tanpa menjejaskan keadaan pengimejan, memberikan pengguna TEM dan STEM lebih kawalan ke atas dos pada sampel mereka.

Pilihannya Peningkatan segerak membawa keupayaan masa dan penyegerakan EDM ke peringkat seterusnya. Synchrony boleh menyelaraskan dengan pengawal STEM, menjejak lokasi rasuk siasatan semasa ia mengimbas merentasi sampel. Pengosongan elektrostatik sepantas kilat EDM menghidupkan pancaran untuk masa tertentu pada setiap piksel, atau memastikan pancaran dikosongkan untuk mengecualikan sepenuhnya kawasan sensitif daripada dos.

Maklumat lanjut