SED, pengesan elektron sekunder, pengesan SE, pengesan ET

Pengesan elektron sekunder (SE) yang paling banyak digunakan ialah pengesan ET (Everhart-Thornley), yang terdiri daripada scintillator dan tiub photomultiplier (PMT). Nama pengesan ET berasal daripada pencipta pengesan ini, Everhart dan Thornley.
Dalam SEM tujuan am, spesimen diletakkan di luar (bahagian bawah) kanta objektif, dan pengesan ET dipasang di ruang antara kanta objektif dan spesimen (di bahagian sisi ruang spesimen). Rajah di bawah menunjukkan pembinaan pengesan ET dan hubungan kedudukan antara kanta objektif dan spesimen.
Permukaan scintillator, yang diperbuat daripada serbuk yttrium silikat, adalah bersalut aluminium (Al). Elektrod (dipanggil "pengumpul") diletakkan di hadapan scintillator.
Voltan sehingga beberapa 100 V boleh digunakan pada pengumpul. Medan elektrik yang dihasilkan oleh voltan yang digunakan mengumpul elektron sekunder yang dipancarkan daripada spesimen. Elektron yang dipandu kepada scintillator tersebut dipercepatkan lagi dengan voltan tinggi +10 kV yang digunakan pada filem bersalut Al bagi scintillator dan terkena scintillator, menyebabkan pelepasan cahaya. Cahaya yang dipancarkan dipandu ke PMT melalui tiub panduan cahaya, dan ditukar kembali kepada elektron dan didarab. Elektron yang didarab tiba di anod dan ditukar kepada isyarat voltan dan dikuatkan oleh litar elektrik yang disambungkan kepada PMT.
Dalam SEM resolusi tinggi, spesimen diletakkan di dalam (atau dekat dengan) kanta objektif. Oleh itu, elektron sekunder dijana dalam (atau memasuki) kanta objektif. Untuk mengumpul elektron sekunder ini, pengesan ET diletakkan di dalam lajur mikroskop. Pengesan ET, yang digunakan secara meluas sebagai pengesan SE, mempunyai kelajuan tindak balas yang tinggi kerana ia menggunakan scintillator seperti pengesan yttrium aluminium garnet (YAG). Oleh itu, imej spesimen boleh diperhatikan tanpa kabur dan tanpa jeda masa walaupun pada pengimbasan pantas atau menggerakkan peringkat spesimen.
Adalah diperhatikan bahawa untuk mengesan elektron berselerak belakang, pengesan semikonduktor silikon (Si) digunakan terutamanya tetapi pengesan YAG digunakan apabila kelajuan tindak balas yang tinggi diperlukan.

Rajah. Pengesan elektron sekunder (pengesan ET)
Elektron sekunder yang dipancarkan daripada spesimen dipandu kepada pengesan SE (pengesan ET) oleh pengumpul. Elektron sekunder berpandu ditukar kepada cahaya oleh scintillator dan ditukar kembali kepada elektron oleh PMT, di mana ia dikuatkan dan menjadi arus elektrik. Arus elektrik ditukar kepada isyarat voltan dan dikuatkan oleh litar elektrik yang disambungkan. Permukaan scintillator adalah bersalut aluminium untuk mengelakkan kemerosotan permukaan yang disebabkan oleh pelepasan. Dicatat bahawa beberapa jumlah elektron berselerak belakang juga dikesan dengan pengesan ET.
Sintilator diperbuat daripada serbuk yttrium silikat, yang lebih murah daripada YAG kristal.