aberasi pembelauan, had pembelauan

Penyimpangan pembelauan menyebabkan penyebaran rasuk elektron pada satah fokus kanta objektif disebabkan oleh sifat gelombang elektron. Istilah ini juga dipanggil "had difraksi".

Elektron mempunyai sifat gelombang dan menyebabkan fenomena difraksi seperti yang dilakukan oleh cahaya. Untuk kanta objektif SEM, apertur objektif bulat digunakan untuk mengurangkan penyimpangan sfera dan kromatik. Oleh kerana saiz apertur adalah terhingga, fenomena pembelauan berlaku. Iaitu, pancaran elektron yang berjalan selari dengan paksi optik tidak menumpu pada titik pada satah fokus tetapi membentuk corak gangguan, yang terdiri daripada cakera cahaya di sekeliling paksi optik (cakera berangin) dan cincin bulat jamak (corak Airy). ).
Rajah 1 menunjukkan taburan keamatan probe elektron pada satah fokus. Jejari cakera Airy () dinyatakan sebagai . Di sini, α ialah separa sudut penumpuan bagi pancaran elektron dan biasanya 1 hingga 20 mrad. (Jika jarak antara kanta objektif dan spesimen (jarak kerja, WD) adalah kecil, α menjadi besar, dan sebaliknya vasa.) λ ialah panjang gelombang elektron. Panjang gelombang dinyatakan sebagai  (nm), dengan Vacc ialah voltan pecutan elektron. Diameter probe elektron d_d pada satah fokus dianggarkan sebagai jejari cakera Airy atau d_d = . Sejak α untuk SEM biasanya 20 mrad atau kurang, dosa α ≅ α dan kemudian .
Rajah 2 menunjukkan pergantungan voltan pecutan diameter probe elektron (d_d) disebabkan oleh pembelauan. Diameter probe elektron menjadi besar apabila voltan pecutan menjadi rendah atau panjang gelombang elektron λ menjadi panjang. Adalah diperhatikan bahawa diameter probe meningkat dengan cepat di bawah 5 kV. Dalam kes α = 5.0 mrad, d_d ialah 1.1 nm untuk 20 kV, dan d_d ialah 4.7 nm untuk 1 kV.

Istilah Berkaitan