ESR Bahan - Semikonduktor 1-

Bahan pepejal boleh dibahagikan kepada penebat (10⁸ Ω · m atau lebih), semikonduktor (10^-5 untuk 10⁸ Ω · m), atau konduktor (10^-5 Ω · m atau kurang) bergantung kepada kerintangan. Secara umum, semikonduktor juga mempunyai beberapa sifat berikut.

• Kebergantungan suhu kerintangan
• Pembetulan
• Pengaliran bipolar
• Kesan Dewan
• Kesan kekotoran
• Kesan foto-elektrik
• Kesan termo-elektrik

Semikonduktor boleh dikelaskan kepada semikonduktor unsur yang terdiri daripada satu unsur dan semikonduktor kompaun terdiri daripada dua atau lebih unsur seperti semikonduktor sebatian tak organik, semikonduktor oksida, semikonduktor organik, dan lain-lain. Tambahan pula, semikonduktor dikelaskan sebagai semikonduktor intrinsik yang tidak mengandungi bendasing dan semikonduktor kekotoran. yang mengandungi kekotoran. Dengan analisis ESR semikonduktor, adalah mungkin untuk menilai struktur, kepekatan kekotoran (kecacatan), tindak balas terhadap cahaya, haba, medan elektrik, dan ciri-ciri kemerosotan.

Silikon amorfus (a - Si) ialah semikonduktor amorfus terutamanya terdiri daripada silikon yang biasanya digunakan untuk sel suria dan transistor filem nipis. Ikatan menjuntai (DB) sering dikesan dalam silikon amorfus, yang diputuskan ikatan Si yang diduduki oleh elektron tidak berpasangan. Adalah diketahui bahawa terdapat korelasi yang baik antara kecekapan pelepasan a - Si dan bilangan DB [1]. Sebagai contoh, keamatan pelepasan berkurangan apabila bilangan DB meningkat. Penilaian ESR berguna untuk memahami berapa banyak DB yang dijana dalam proses pengeluaran a-Si dan berapa banyak degradasi yang mengiringi penciptaan DB yang berlaku akibat rangsangan haba atau cahaya.
Seperti yang dinyatakan di atas, ESR memberikan indeks untuk meningkatkan sifat fizikal semikonduktor. Dalam beberapa tahun kebelakangan ini, kepekatan DB telah menjadi rendah disebabkan peningkatan teknologi pembuatan. Akibatnya, selalunya sukar untuk mengesan isyarat ESR daripada DB pada suhu bilik. Walaupun dalam kes sedemikian, pengukuran suhu kriogenik (ES - CT 470) sering dilakukan. Rajah 1 menunjukkan isyarat ESR bagi silikon DB yang diperhatikan apabila ia disejukkan daripada suhu bilik kepada suhu kriogenik.

[1] RA Street, JC Knights, dan DK Biegelsen (1978): Kajian kecerahan silikon terhidrogenasi terdeposit plasma. Fizikal. Semakan. B18, 1880-1891.

Sila lihat fail PDF untuk mendapatkan maklumat tambahan.
Tetingkap lain terbuka apabila anda mengklik.

PDF 544KB