Hyperspectral Mappig-Menggabungkan Cathodoluminescence dan Pengumpulan X-ray dalam Mikroprob Elektron

ABSTRAK Spektrometer optik telah disepadukan ke dalam mikroprob elektron JEOL 8900R, yang membolehkan pengumpulan serentak cahaya, sinar-X dan isyarat elektron. Isyarat cathodoluminescence dikumpul daripada kanta mata bermata, yang disepadukan ke dalam optik elektron mikroprob elektron. Pemerolehan optik disegerakkan dengan gerakan pentas. Garisan sinar-X unsur-unsur utama dikumpulkan menggunakan spektrometer penyebaran tenaga, garisan sinar-X unsur-unsur kecil dikumpul menggunakan spektrometer penyebaran panjang gelombang, dan isyarat elektron sekunder dan serakan belakang dikumpul menggunakan pengesan standard. Dalam mod operasi pemetaan, isyarat berbeza dikumpulkan pada setiap piksel dengan saiz peta lazimnya antara 1 juta hingga 10 juta piksel. Ini mewakili sejumlah besar data yang daripadanya korelasi dan perkaitan utama dalam peta boleh ditentukan. Menjumlahkan sebilangan kecil saluran dan memeriksa hanya subset julat panjang gelombang yang lengkap adalah strategi yang telah dibangunkan untuk mengurangkan saiz data yang dikendalikan. Aplikasi teknik pemetaan ini ditunjukkan dengan dua contoh, zirkon dan bata refraktori. Zirkon dengan pelbagai darjah metamictization telah dicirikan, dan kemasukan dibezakan menggunakan gabungan peta katodoluminesensi dan X-ray. Pemeriksaan batu bata refraktori mendedahkan perubahan kimia halus dalam butiran spinel. Microsc. Res. Tech. 67; 271-277,2005