Pembangunan Mikroskop Elektron JEM-2800 High Throughput

Dalam beberapa tahun kebelakangan ini, pembangunan bahan baharu yang menggunakan teknologi kawalan struktur pesanan nanometer sedang giat dijalankan, serta pembangunan produk menggunakan bahan yang baru dibangunkan ini. Dalam proses membangunkan bahan dan produk ini, ia menjadi sangat diperlukan untuk menggunakan penghantaran-imbasan dan / atau mikroskop elektron penghantaran ((S)TEM) untuk kaedah pemerhatian dan analisis morfologi kawasan setempat. Tambahan pula, dalam industri berteknologi tinggi seperti industri semikonduktor, (S)TEM dipasang di tapak berhampiran barisan pengeluaran sebagai alat analisis untuk meningkatkan kadar hasil pengeluaran dan menganalisis punca kecacatan, dan pengguna menggunakan sepenuhnya. daripada (S)TEM pada bila-bila masa siang dan malam. Walau bagaimanapun, pemasangan (S)TEM dalam tapak sedemikian sering menyebabkan masalah dari sudut pandangan kos dan kebolehgunaan. Untuk menyelesaikan masalah ini, Mikroskop Elektron Tinggi JEM-2800 telah dibangunkan baru. Laporan ini menerangkan konsep produk dan ciri instrumen ini.