Pemetaan Unsur Resolusi Atom oleh EELS dan XEDS dalam STEM Diperbetulkan Aberration

Penambahbaikan terkini dalam pembetulan penyimpangan telah membawa kelebihan yang luar biasa bukan sahaja dalam pengimejan resolusi tinggi tetapi juga dalam analisis resolusi tinggi oleh spektrometri kehilangan tenaga elektron (EELS) dan spektrometri penyebaran tenaga sinar-X (XEDS) dalam pengimbasan mikroskop elektron penghantaran (STEM). Setelah pembentukan probe insiden dioptimumkan, analisis resolusi atom boleh dilakukan dengan memperoleh isyarat yang mencukupi untuk analisis kimia yang sesuai sambil mengekalkan saiz probe yang halus. Di samping itu, pendekatan pemerolehan dan analisis data yang lebih canggih, seperti pengimejan spektrum (SI) dan analisis statistik multivariate (MSA), adalah penting untuk analisis kimia resolusi atom. Malah, adalah mungkin untuk mendapatkan imej kimia bahan beresolusi atom memandangkan kedua-dua resolusi spatial dan kepekaan analitik dipertingkatkan dengan pesat dalam kombinasi instrumen pembetulan penyimpangan dengan teknik pemerolehan dan analisis lanjutan. Dalam manuskrip ini, pembentukan siasatan insiden, pemerolehan data dan analisis data disemak untuk analisis kimia resolusi atom oleh EELS dan XEDS dalam instrumen yang diperbetulkan penyimpangan. Kemudian, beberapa aplikasi imej kimia resolusi atom yang diperolehi oleh mikroskop pembetulan penyimpangan JEM-ARM200F yang dibangunkan baru-baru ini ditunjukkan untuk menangani trend masa depan dalam analisis kimia bahan.