Analisis Status Kimia menggunakan AES
Sesetengah peranti semikonduktor mempunyai struktur di mana filem logam nipis seperti Ti dan Pt dibangunkan pada SiO2 di atas substrat Si. Antara muka filem logam ini selalunya tertakluk kepada tindak balas kimia dalam keadaan tertentu, gagal menjadi kenyataan seperti yang dimaksudkan pada asalnya. Analisis Auger resolusi tenaga tinggi digunakan secara meluas untuk mengkaji status kimia antara muka tersebut.
-
Sila lihat fail PDF untuk mendapatkan maklumat tambahan.
Tetingkap lain terbuka apabila anda mengklik. -
PDF 156.9KB
Produk Berkaitan
Rumusan berdasarkan bidang
Adakah anda seorang profesional perubatan atau kakitangan yang terlibat dalam penjagaan perubatan?
Tidak
Sila diingatkan bahawa halaman ini tidak bertujuan untuk memberikan maklumat tentang produk kepada orang ramai.