Mikroskop Probe Pengimbasan UHV JSPM-4610A/S

UHV-SPM JEOL Membolehkan Anda Mendapatkan Maklumat Permukaan Yang Tepat

Ciri-ciri

Teknologi Yang Menyokong SPM

Pengimbas buatan kongsi bertindan

Sebagai pengimbas, yang merupakan nadi SPM, pengimbas mod perkongsian tindanan yang dibangunkan JEOL digunakan. Ia menghapuskan herotan imej yang disebabkan oleh gangguan antara elemen piezo dan memenuhi tiga keperluan untuk mendapatkan frekuensi resonans tinggi-"mudah," "kecil" dan "ringan".

Tahap spesimen

Peringkat spesimen, berdasarkan teknik berkaitan EM ketepatan paling cemerlang JEOL, adalah daripada struktur kemasukan teratas. Struktur ini menggabungkan bukan sahaja idea kawalan nanometer spesimen, tetapi juga idea "bebas hanyut".
Menyediakan resapan sepusat daripadanya, peringkat membolehkan pemerhatian SPM yang stabil, sekali gus memaparkan keberkesanannya dalam pemerhatian tapak. Tambahan pula, permukaan spesimen banyak dibuka, membenarkan penambahan banyak fungsi baru.

Mekanisme pergerakan kasar

Mekanisme ini memerlukan pergerakan terbaik dalam SPM. Mereka membenarkan hujung untuk mendekati kawasan nanometer dengan selamat tanpa menyebabkan hujungnya mengenai spesimen. Hujung boleh digerakkan secara automatik dengan betul oleh pemacu motor dari luar vakum.

Litar Kawalan

Arus terowong yang dikesan oleh SPM adalah arus lemah tertib nanoampere, menjadikannya perlu untuk sentiasa mengkaji masalah hingar. Selain itu, litar maklum balas perlu cukup tahan terhadap ayunan. Teknik-teknik ini, yang diselesaikan melalui pembangunan mikroskop pengimbasan, juga berkesan untuk SPM.
Litar kawalan ini boleh digunakan secara lazim untuk AFM.

sistem WINSPM

Sistem WINSPM ialah sistem kawalan dan pemerolehan data bersepadu yang dibangunkan untuk mengimbas mikroskop probe. Ia membenarkan bukan sahaja pemerhatian SPM, lV, STS, AFM, Force-Curve dan LFM, tetapi juga input serentak dan paparan serentak sehingga 4 saluran. Selain itu, ia disediakan dengan lebih daripada 100 fungsi pemprosesan imej dan lebih daripada 30
fungsi pemprosesan grafik. Menggunakan MS-windows, ia membolehkan perubahan kepada aplikasi lain (jenis TIFF) dan sambungan rangkaian dijalankan dengan mudah.

Sistem Tetingkap yang mesra pengguna

Perisian WINSPM, yang beroperasi pada MS-Windows menawarkan persekitaran operasi penuh tetikus. Disediakan dengan GUI seperti sistem menu dan kotak dialog, ia boleh dikendalikan dengan mudah oleh sesiapa sahaja. Juga dilengkapi dengan memori berkapasiti besar, ia boleh dikendalikan dengan lancar walaupun banyak tingkap dibuka pada satu masa.

Panel kawalan untuk kecekapan fungsi maksimum

Kemudahan pengendalian panel kawalan adalah sangat penting untuk pengimbasan AFM dan SPM. Sistem WINSPM disediakan dengan parameter yang kerap digunakan yang dipilih dengan teliti berdasarkan keputusan lepas. Tetapan parameter yang lebih halus boleh dilakukan secara bebas dengan menggunakan kotak dialog. Fungsi seperti STS, CITS dan LITHOGRAPHY semuanya disediakan sebagai standard.

Fungsi pemprosesan imej yang banyak

Sistem WINSPM disediakan dengan lebih daripada 100 jenis fungsi pemprosesan imej yang dibangunkan khusus untuk SPM, termasuk paparan 3D, pemprofilan, FFT, pengembangan dan analisis zarah.
Disediakan dengan cakera magnetooptik sebagai standard, sistem WINSPM membenarkan sandaran penuh data penting yang mengeluarkan data kepada pencetak laser atau mesin penyalin keras berwarna.
Fungsi pilihan termasuk sambungan monitor kedua, yang digunakan secara eksklusif untuk paparan imej, output masa nyata kepada VTR, dan input dan pemprosesan imej daripada VTR.

Sistem pemindahan 3-kebuk bebas

Sistem pemindahan vakum ultrahigh terdiri daripada tiga ruang, yang boleh dipindahkan secara bebas. Oleh itu, sistem ini dibina sebagai ruang berbilang tugas yang memberikan ruang individu peranan masing-masing. Pada masa yang sama, sistem pemindahan ini seimbang secara keseluruhan untuk memberikan vakum ultratinggi.

Sistem pengasingan getaran

Sistem pengasingan getaran adalah faktor penting untuk SPM, yang mempunyai resolusi peringkat atom atau molekul. Getaran mekanikal diasingkan sepenuhnya dengan menyambungkan ruang vakum dan SPM secara terus kepada sistem pengasingan getaran terampai udara jenis gimbal-omboh, yang mempunyai ciri-ciri pengasingan getaran menegak dan mendatar yang sangat baik, dan juga dengan menggunakan SPM asas getaran jenis top-hatstack. mekanisme, yang mengasingkan kedua-dua getaran mendatar dan menegak.

Fungsi tambahan yang banyak

Penguap

Ini digunakan untuk mengosongkan penyejatan spesimen dengan atom yang berbeza daripada atom spesimen. Ia disediakan dengan dua 70-mm-dia. pelabuhan yang menghadap spesimen. Peruntukan dibuat untuk menjalankan penyejatan dari bawah pada sudut 40°, dan penyejatan boleh dilakukan tanpa mencemarkan bahagian selain daripada spesimen kerana sumber ion dikolimasikan.

Alat pemanas

Pemanasan spesimen adalah fungsi yang sangat diperlukan untuk pembersihan spesimen dan untuk penyelidikan peralihan fasa pada suhu tinggi dan struktur permukaan. Selain itu, MBE memerlukan fungsi untuk memanaskan spesimen secara tidak langsung. Peranti pemanasan telah dibangunkan untuk memenuhi keperluan ini.Ia membolehkan bukan sahaja spesimen berkelip, tetapi juga pemerhatian spesimen semasa memanaskannya.

Peranti penyejuk

Seperti pemanasan spesimen, penyejukan spesimen juga diperlukan untuk penyelidikan peralihan fasa bahan...dalam kes ini di bawah suhu rendah. Ia amat berkesan untuk memerhati bahan superkonduktor pada suhu rendah.

Mikroskop elektron pengimbasan vakum ultratinggi (UHV-SEM)

SPM, yang sangat sesuai untuk pemerhatian imej peringkat atom dan molekul, tidak sesuai untuk pemerhatian kawasan yang luas. Walau bagaimanapun, adalah lumrah bagi pengguna SPM untuk ingin memerhati imej yang diperbesarkan bagi medan pandangan yang mereka kehendaki. Penambahan fungsi SEM memastikan tidak hanya pengenalpastian kawasan tontonan dengan SPM, tetapi juga pelbagai cerapan daripada cerapan pembesaran rendah kepada cerapan SPM. Juga, keupayaan pemerhatian untuk hubungan antara spesimen dan hujung dan untuk keadaan hujung, adalah sangat berkesan untuk meningkatkan kecekapan penyelidikan. Lajur yang baru dibangunkan untuk UHV-SEM ini tidak menggunakan air penyejuk untuk mengasingkan getaran, dan dibina sedemikian. untuk tidak menjejaskan vakum ultratinggi. Ini telah menghapuskan pengaruh getaran pada pemerhatian imej dan ketakutan terhadap pencemaran spesimen.
Pembangunan SPM-SEM vakum ultratinggi menjanjikan pengembangan SPM dengan melengkapkan kecacatan masing-masing.

spesifikasi

Maklumat lanjut