Mikroskop Probe Pengimbasan UHV JSPM-4500A/S

UHV-SPM daripada JEOL, Yang Sentiasa Mencari Dunia Atom.

Ciri-ciri

Teknologi Yang Menyokong SPM

Pengimbas buatan kongsi bertindan

Sebagai pengimbas, yang merupakan nadi SPM, pengimbas mod perkongsian bertindan yang dibangunkan oleh aJEOL digunakan. Ia menghapuskan herotan imej yang disebabkan oleh gangguan antara elemen piezo dan memenuhi tiga keperluan untuk mendapatkan frekuensi resonans tinggi-"berguna," "kecil" dan "ringan".

Tahap spesimen

Peringkat spesimen, berdasarkan teknik berkaitan EM ketepatan paling cemerlang JEOL, adalah daripada struktur topentry. Struktur ini menggabungkan bukan sahaja idea kawalan nanometer spesimen, tetapi juga idea "bebas hanyut". Dengan menyediakan resapan haba sepusat daripadanya, pentas membolehkan pemerhatian SPM yang stabil, sekali gus memaparkan keberkesanannya dalam pemerhatian tapak. Tambahan pula, permukaan spesimen banyak dibuka, membenarkan penambahan banyak fungsi baru.

Mekanisme pergerakan kasar

Mekanisme ini memerlukan pergerakan terbaik dalam SPM. Mereka membenarkan hujung menghampiri kawasan ananometer dengan selamat tanpa menyebabkan hujung terkena spesimen. Hujung boleh digerakkan secara automatik dengan betul oleh pemacu motor dari luar vakum.

Litar Kawalan

Arus terowong yang dikesan oleh SPM adalah arus lemah tertib nanoampere, menjadikannya perlu untuk sentiasa mengkaji masalah bunyi. Selain itu, litar maklum balas perlu cukup tahan terhadap ayunan. Teknik-teknik ini, yang diselesaikan melalui pembangunan mikroskop pengimbasan, juga berkesan untuk SPM. Litar kawalan ini boleh digunakan secara lazim untuk AFM.

sistem WINSPM

Sistem WINSPM ialah sistem kawalan dan pemerolehan data bersepadu yang dibangunkan untuk mikroskop probe pengimbasan. Ia membenarkan bukan sahaja pemerhatian SPM, lV, STS, AFM, Force-Curve dan LFM, tetapi juga input serentak dan paparan serentak sehingga 4 saluran. Selain itu, ia disediakan dengan lebih daripada 100 fungsi pemprosesan imej dan lebih daripada 30 fungsi pemprosesan grafik. Menggunakan MS-win-dows, ia membolehkan perubahan kepada aplikasi lain (TIFFtype) dan sambungan rangkaian dijalankan dengan mudah.

Sistem Tetingkap yang mesra pengguna

perisian WINSPM, yang beroperasi pada MS-Win-dows menawarkan persekitaran operasi penuh tetikus. Disediakan dengan GUI seperti sistem menu dan kotak dialog, ia boleh dikendalikan dengan mudah oleh sesiapa sahaja. Dilengkapi juga dengan memori berkapasiti besar, ia boleh dikendalikan dengan lancar walaupun banyak tingkap dibuka pada satu masa.

Panel kawalan untuk kecekapan fungsi maksimum

Kemudahan pengendalian panel kawalan adalah sangat penting untuk pengimbasan AFM dan SPM. Sistem WINSPM disediakan dengan parameter yang kerap digunakan yang dipilih dengan teliti berdasarkan pasressults. Tetapan parameter yang lebih halus boleh dilakukan secara bebas dengan menggunakan kotak dialog. Fungsi seperti STS, CITS, dan LITOGRAFI semuanya disediakan sebagai standard.

Fungsi pemprosesan imej yang banyak

Sistem WINSPM disediakan dengan lebih daripada 100 jenis fungsi pemprosesan imej yang dibangunkan khusus untuk SPM, termasuk paparan 3D, profil-ing, FFT, pengembangan dan analisis zarah. Disediakan dengan cakera magnetooptik sebagai standard, sistem WINSPM membenarkan sandaran penuh data penting yang mengeluarkan data kepada pencetak laser atau mesin penyalin keras berwarna. Fungsi pilihan termasuk sambungan monitor kedua, yang digunakan secara eksklusif untuk paparan imej, output masa nyata kepada VTR, dan input dan pemprosesan imej daripada VTR.

Sistem pemindahan 3-kebuk bebas

Sistem pemindahan vakum ultratinggi terdiri daripada tiga ruang, yang boleh dipindahkan secara bebas. Oleh itu, sistem ini dibina sebagai ruang pelbagai tugas yang memberikan ruang individu peranan masing-masing. Pada masa yang sama, sistem pemindahan ini seimbang secara keseluruhan untuk memberikan vakum ultratinggi.

Sistem pengasingan getaran

Sistem pengasingan getaran adalah faktor penting bagi SPM, yang mempunyai resolusi peringkat atom atau molekul-lar. Getaran mekanikal diasingkan sepenuhnya dengan menyambungkan terus ruang vakum dan SPM kepada sistem pengasingan getaran terampai udara jenis gimbal-omboh, yang mempunyai ciri-ciri pengasingan getaran menegak dan mendatar yang sangat baik, dan juga dengan menggunakan SPM asas getaran jenis timbunan atas. mekanisme, yang mengasingkan kedua-dua getaran mendatar dan menegak.

Fungsi tambahan yang banyak

Penguap

Ini digunakan untuk mengosongkan penyejatan spesimen dengan atom yang berbeza daripada atom spesimen. Ia disediakan dengan dua 70-mm-dia. pelabuhan yang menghadap spesimen. Peruntukan dibuat untuk menjalankan penyejatan dari bawah pada sudut 40°, dan penyejatan boleh dilakukan tanpa mencemarkan bahagian selain daripada spesimen kerana sumber ion adalah kolimat.

Alat pemanas

Pemanasan spesimen adalah fungsi yang sangat diperlukan untuk pembersihan spesimen dan untuk penyelidikan peralihan fasa pada suhu tinggi dan struktur permukaan. Juga, MBEmemerlukan fungsi untuk memanaskan spesimen secara tidak langsung. Peranti pemanas telah dibangunkan untuk memenuhi keperluan ini. Ia bukan sahaja membenarkan spesimen berkelip, tetapi juga pemerhatian spesimen semasa memanaskannya.

Peranti penyejuk

Seperti pemanasan spesimen, penyejukan spesimen juga diperlukan untuk penyelidikan peralihan fasa bahan...dalam kes ini di bawah suhu rendah. Ia amat berkesan untuk memerhati bahan superkonduktor pada suhu rendah.

Mikroskop elektron pengimbasan vakum ultratinggi (UHV-SEM)

SPM, yang sangat sesuai untuk pemerhatian imej peringkat atom dan molekul, tidak sesuai untuk pemerhatian kawasan luas. Walau bagaimanapun, adalah wajar bagi pengguna SPM untuk ingin melihat imej yang diperbesarkan bagi medan pandangan yang mereka kehendaki. Penambahan fungsi SEM bukan sahaja memastikan pengecaman kawasan tontonan dengan SPM, tetapi juga pelbagai cerapan daripada pembesaran rendah. pemerhatian kepada pemerhatian SPM. Juga, keupayaan pemerhatian untuk hubungan antara spesimen dan keadaan hujung dan hujung, adalah sangat berkesan untuk meningkatkan kecekapan penyelidikan. Lajur yang baru dibangunkan untuk UHV-SEMus ini tidak menggunakan air penyejuk untuk mengasingkan getaran, dan dibina supaya tidak menjejaskan vakum ultratinggi. Ini telah menghapuskan pengaruh getaran pada pemerhatian imej dan ketakutan terhadap pencemaran spesimen. Pembangunan vakum ultratinggi SPM-SEM menjanjikan kebolehkembangan SPM dengan melengkapkan kecacatan masing-masing.

spesifikasi

Maklumat lanjut