Ciri-ciri
Arus siasatan dan kanta kawalan apertur yang sangat stabil memudahkan pemerolehan imej resolusi tinggi. Proses pengilangan dilihat dan dianalisis secara serentak dalam pengimejan SEM, berkesan untuk analisis struktur dalaman dan penyediaan sampel filem nipis TEM.
Menggabungkan FE-SEM resolusi tinggi untuk keratan rentas ketepatan.
Pengimejan SEM resolusi tinggi untuk pemantauan masa nyata pengilangan FIB.
Menggabungkan senapang elektron terma dalam kanta yang mampu analisis kelajuan tinggi yang stabil pada arus maksimum 200 nA.
Ruang spesimen berbilang port untuk operasi lengkap daripada pengilangan FIB kepada pengimejan SEM kepada analisis oleh pelbagai pengesan termasuk EDS dan EBSD.
Menyokong pemasangan serentak pelbagai gas untuk pemendapan filem pelindung.
Pengimejan SEM resolusi tinggi untuk penyediaan sampel filem nipis TEM.
Accesories
EDS (penganalisis sinar-X pendarfluor penyebaran tenaga)
sistem EBSD
CLD (pengesan luminescence katod)
IR-CAM (kamera IR untuk tontonan)
GIS (sistem suntikan gas) x3
Sistem pengambilan spesimen
Sistem manipulator nano
PCD (pengesan arus siasatan)
AEM (meter arus serap)
TED (pengesan elektron penghantaran)
BEI (pengesan elektron terserak belakang)
Cecair perangkap nitrogen
Peranti pengosongan rasuk
Pembinaan Semula 3D perisian
spesifikasi
FIB (Rasuk Ion Berfokus)
| Sumber ion | Ga sumber ion logam cecair |
|---|---|
| Mempercepatkan voltan | 1 hingga 30 kV |
| Pembesaran | 30x (lihat carian kawasan) 100 hingga 300,000x |
| Resolusi imej | 5 nm (pada 30 kV) |
| Arus rasuk maksimum | 30 nA (pada 30 kV) |
| Bukaan boleh ubah | 12 langkah, pemacu motor |
| Corak pengilangan rasuk ion | Segi empat tepat, garis, titik |
SEM (Rasuk Elektron)
| Mempercepatkan voltan | 0.2 hingga 30 kV |
|---|---|
| Pembesaran | 20 hingga 1,000,000x |
| Resolusi imej | 1.2 nm dijamin (voltan memecut 30 kV)
3.0 nm dijamin (voltan memecut 1 kV) |
| Arus rasuk maksimum | 200 na |
| Tahap spesimen | Peringkat goniometer
X: 50 mm; Y: 50 mm; Z: 1.5 hingga 41 mm; T: -5 hingga 70°; R: 360° |
| Pam vakum | 2 SIP (SEM), 1 SIP (FIB), 1 TMP, 1 RP |
Keperluan Pemasangan
| Bekalan kuasa | Fasa tunggal 200 V 10%, 50/60 Hz. 6 kVA |
|---|---|
| Terminal darat | Satu Jenis D (100 ohm atau kurang) |
| Suhu bilik | 20°C±5°C |
| Kelembapan | 60% atau kurang |
Maklumat lanjut
Adakah anda seorang profesional perubatan atau kakitangan yang terlibat dalam penjagaan perubatan?
Tidak
Sila diingatkan bahawa halaman ini tidak bertujuan untuk memberikan maklumat tentang produk kepada orang ramai.