BS-60610BDS
Sumber Pemendapan Pengeboman
Kurang kerosakan elektron Terserak belakang dan sinar-X/Pengurangan percikan/Pelapik kapasiti besar/Pemendapan kadar tinggi
Ciri-ciri
BS-60610BDS ialah sumber pemendapan unik yang secara tidak langsung memanaskan bahan penyejatan dalam pelapik dengan pancaran elektron.
Kapasiti pelapik dan kadar pemendapan telah meningkat berbanding model konvensional BS-60310BDS.
Tiada kerosakan pada substrat disebabkan oleh elektron berselerak belakang dan sinar-X.
Sesuai untuk pemendapan filem cacat rendah dengan sedikit percikan.
Kawalan dan kestabilan kadar pemendapan yang sangat baik direalisasikan oleh kawalan pemanasan rasuk elektron berkelajuan tinggi.
Pemendapan filem tebal dengan Meningkatkan kapasiti pelapik.
Kadar pemendapan yang lebih tinggi adalah mungkin dengan meningkatkan keluaran maksimum dan kawasan sejatan berbanding BS-60310BDS.
Spesifikasi standard (Pelapik foto adalah pilihan)
Prinsip penyejatan
Kapasiti pelapik/Perbandingan ketebalan filem pemendapan maksimum*
Dalam kes jarak sumber ke substrat ialah 1100 mm
| Bahan penyejatan | BS-60310BDS | BS-60610BDS | Nisbah |
|---|---|---|---|
| Kapasiti pelapik Fluorida | 7.5cc | 12.8cc | 1.7 kali |
| Kapasiti pelapik Aluminium | 1.5cc | 9cc | 6 kali |
| Ketebalan filem maks MgF2 | 200nm | 400nm | 2 kali |
| Ketebalan filem maksimum LaF3 | 90nm | 400nm | 4.5 kali |
| AI ketebalan filem maks | 250nm | 2,500nm | 10 kali |
Sisa selepas penyejatan
Tanda lebur MgF2
Tanda lebur AI
Perbandingan kehadiran zarah dalam filem MgF2 yang dimendapkan
Kaca kepingan putih 76mm persegi,
Jarak TS : 1.1m, Ketebalan filem: 150nm
Ciri spektrum jalur UV bagi lapisan tunggal MgF2
Kadar pemendapan aluminium pada setiap kuasa e-beam
Contoh corak sapuan rasuk elektron
Imbasan Bulatan Lanjutan oleh Bekalan Kuasa EB siri BS-720xxICE
spesifikasi
Spesifikasi standard
| Kuasa | Maksimum 4.8kW ※ 1 |
|---|---|
| air penyejukan | 4 hingga 5L / min, 10 hingga 25°C |
| Tekanan kerja | 5 × 10-5 hingga 1 × 10-2Pa |
| dimensi luaran | 345ｍｍ(W)×355.5mm(D)×181.5mm(H) |
| Massa | 22kg |
| Bekalan Kuasa EB | Siri BS-720xxICE dengan mod Imbasan Bulatan Lanjutan |
Konfigurasi standard
| BS-60610BDS | Sumber Pemendapan Pengeboman jenis 6 pelapik ※2, ※3 |
|---|
Aksesori Pilihan
| BS-60600RF | Bumbung ※ 4 |
|---|---|
| BS-60620LN | Pelapik（untuk fluorida, Au, Ag, Cu, dll.） |
| BS-60660LN | Pelapik（untuk Al） |
| BS-60680SP | Spacer ※ 5 |
| BS-60690SK | Cover ※ 5 |
Keluaran maksimum bergantung pada jenis pelapik.
Pelapik tidak termasuk dalam BS-60610BDS.
Sila gunakan pelapik pilihan kerana pelapik memberi kesan kepada prestasi pemendapan.Bilangan pelapik boleh ditukar sebagai produk tersuai.
Digunakan untuk menyekat kenaikan suhu substrat.
Perlu memilih sama ada Penutup(disyorkan) yang meningkatkan kecekapan pemanasan atau Spacer.
Muat turun Katalog
BS-60610BDS Sumber Pemendapan Pengeboman
Maklumat lanjut
Adakah anda seorang profesional perubatan atau kakitangan yang terlibat dalam penjagaan perubatan?
Tidak
Sila diingatkan bahawa halaman ini tidak bertujuan untuk memberikan maklumat tentang produk kepada orang ramai.