Keluaran Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope JSM-IT800(i)/(is) versi −FE-SEM dengan Platform Teknologi Perisikan (IT)−
Tarikh Tayangan: 2021/08/31
JEOL (Presiden dan COO: Izumi Oi) mengumumkan bahawa ia telah membangunkan versi separa dalam kanta (i)/(is) yang optimum untuk pemerhatian peranti semikonduktor Schottky Field Emission Electron Microscope JSM-IT800 (dilancarkan pada bulan Mei 2020), dan mula menjualnya pada Ogos 2021.
Latar Belakang Pembangunan
Mikroskop elektron pengimbasan (SEM) digunakan dalam pelbagai bidang, seperti nanoteknologi, logam, semikonduktor, seramik, perubatan dan biologi. Memandangkan aplikasi SEM berkembang untuk bukan sahaja meliputi penyelidikan dan pembangunan, tetapi juga menangani kawalan kualiti dan pemeriksaan produk di tapak pembuatan, pengguna SEM memerlukan pemerolehan data berkualiti tinggi yang pantas, serta pengesahan maklumat komposisi mudah dengan operasi analisis yang lancar.
Untuk memenuhi permintaan ini, JSM-IT800 menggabungkan senapang elektron pelepasan medan Schottky Plus dalam kanta kami untuk pengimejan resolusi tinggi, dan sistem kawalan optik elektron inovatif "Neo Engine", serta sistem GUI lancar "SEM Center" untuk pemetaan unsur pantas dengan spektrometer sinar-X (EDS) penyebaran tenaga JEOL terbenam sepenuhnya, sebagai platform biasa. Tambahan pula, JSM-IT800 membenarkan penggantian kanta objektif SEM sebagai modul, menawarkan versi berbeza untuk memenuhi pelbagai keperluan pengguna.
JSM-IT800 boleh didapati dalam lima versi dengan kanta objektif berbeza: versi kanta hibrid (HL), yang merupakan FE-SEM tujuan umum; versi kanta super hibrid (SHL/SHL, dua versi dengan fungsi berbeza), yang membolehkan pemerhatian dan analisis resolusi lebih tinggi; dan versi separa dalam kanta yang baru dibangunkan (i/is, dua versi dengan fungsi berbeza), yang sesuai untuk pemerhatian peranti semikonduktor.
JSM-IT800 juga boleh dilengkapi dengan Scintillator Backscattered Electron Detector (SBED) baharu. SBED membolehkan pemerhatian mudah imej langsung dengan responsif tinggi dan menghasilkan kontras bahan yang tajam walaupun pada voltan pecutan rendah.
Ciri-ciri Utama
- Pistol elektron pelepasan medan Schottky Plus dalam kanta
Penyepaduan yang dipertingkatkan bagi pistol elektron dan kanta pemeluwap penyimpangan rendah memberikan kecerahan yang lebih tinggi. Arus probe yang mencukupi tersedia pada voltan pecutan rendah (100 nA pada 5 kV). Sistem In-lens Schottky Plus yang unik membolehkan pelbagai aplikasi, daripada pengimejan resolusi tinggi kepada pemetaan unsur pantas, dan analisis pembelauan serakan belakang elektron (EBSD). - Enjin Neo (Enjin Optik Elektron Baharu)
Enjin Neo ialah sistem optik elektron termaju yang mengumpulkan bertahun-tahun teknologi teras JEOL. Pengguna boleh melakukan pemerhatian yang stabil walaupun apabila menukar keadaan pemerhatian atau analisis yang berbeza. Kebolehkendalian yang tinggi untuk fungsi automatik sangat dipertingkatkan. - Integrasi Pusat SEM / EDS
"Pusat SEM" GUI disepadukan sepenuhnya dengan pengimejan SEM dan analisis EDS untuk menyediakan operasi yang lancar dan intuitif. JSM-IT800 boleh dipertingkatkan dengan memasukkan alat tambah perisian pilihan, seperti SMILENAVI untuk membantu dan menyediakan laluan pembelajaran untuk pengguna baru dan penapis LIVE-AI (Penambah Visual Imej Langsung – AI) untuk memperoleh kualiti imej langsung yang lebih tinggi . - Versi separuh dalam kanta(i/is)
Kanta separuh dalam mencapai resolusi ultra tinggi dengan menumpu rasuk elektron dengan kanta medan magnet kuat yang terbentuk di bawah kanta objektif. Selain itu, sistem dengan cekap mengumpul elektron sekunder tenaga rendah yang dipancarkan daripada spesimen dan mengesan elektron dengan pengesan kanta dalam atas (UID). Oleh itu, ia membolehkan pemerhatian resolusi tinggi dan analisis spesimen condong dan spesimen keratan rentas, yang diperlukan untuk analisis kegagalan peranti semikonduktor. Di samping itu, ia sangat berguna untuk pemerhatian kontras voltan. - Pengesan elektron atas (UED)
Pengesan elektron atas boleh dipasang di atas kanta objektif. Kelebihan sistem adalah keupayaan pemerolehan imej elektron berselerak belakang, dan pemerolehan imej elektron sekunder dalam kombinasi dengan bias spesimen. Elektron yang dipancarkan daripada spesimen dipilih oleh pemfail UID di dalam kanta objektif. UED dan UIT membenarkan berbilang maklumat diperoleh dalam satu imbasan. - Pengesan Elektron Tersebar Belakang Baharu
Pengesan elektron berselerak belakang scintillator (SBED, pilihan) mempunyai responsif yang tinggi dan sesuai untuk memperoleh imej kontras bahan pada voltan pecutan rendah.
Spesifikasi Utama
| Versi JSM-IT800i | Versi JSM-IT800is | |
|---|---|---|
| Resolusi (1 kV) | 0.7 nm | 1.0 nm |
| Resolusi (15 kV) | 0.5 nm | 0.6 nm |
| Mempercepatkan voltan | 0.01 - 30 kV | |
| Pengesan standard | Pengesan Elektron Sekunder (SED) Pengesan Dalam Kanta Atas (UID) Pengesan Elektron Atas (UED) |
Pengesan Elektron Sekunder (SED) Pengesan Dalam Kanta Atas (UID) |
| Pistol elektron | Pistol elektron pelepasan medan Schottky Plus dalam kanta | |
| Arus siasatan | Beberapa pA hingga 500 nA (30 kV) | Beberapa pA hingga 300 nA (30 kV) |
| Beberapa pA hingga 100 nA (5 kV) | ||
| Kanta objektif | Separuh dalam kanta | |
| Tahap spesimen | Peringkat goniometer eusentrik penuh | |
| Pergerakan pentas | Jenis1(standard) X; 70 mm Y; 50 mm Z; 1 hingga 41 mm Jenis2 (pilihan) X; 100 mm Y; 100 mm Z; 1 hingga 50 mm Jenis3 (pilihan) X; 140 mm Y; 80 mm Z; 1 hingga 41 mm Condongkan; -5 hingga 70° Putaran; 360° |
|
| Pengesan EDS | Resolusi tenaga: 133 eV atau lebih baik Elemen yang boleh dikesan Be to U Kawasan pengesanan: 60 mm2 |
|
Target pasaran
Versi JSM-IT800i: 5 unit/tahunVersi JSM-IT800is: 40 unit/tahun
pautan
Adakah anda seorang profesional perubatan atau kakitangan yang terlibat dalam penjagaan perubatan?
Tidak
Sila diingatkan bahawa halaman ini tidak bertujuan untuk memberikan maklumat tentang produk kepada orang ramai.