PENGHILANG BAHAGIAN RENTAS™
Penggilap Keratan Rentas
Penggilap Keratan Rentas (selepas ini, “CP”) ialah peranti untuk menyediakan keratan rentas murni spesimen untuk mikroskop elektron pengimbasan (SEM), penganalisis mikro probe elektron (EPMA), Atau Kuar mikro Auger.
Menggunakan kaedah baharu menggunakan pancaran ion Ar+ yang luas dan plat pelindung, telah memungkinkan untuk menghasilkan keratan rentas tanpa artifak dan herotan dengan lebih sedikit masa dan kemahiran yang diperlukan daripada kaedah sebelumnya.
CP boleh menyediakan keratan rentas pelbagai bahan seperti logam, seramik, plastik, dsb., dan telah digunakan dalam pelbagai bidang.
Prinsip pemprosesan
Komponen utama pengilat keratan rentas (CP) ialah sumber ion Ar, plat pelindung dan spesimen, seperti yang ditunjukkan dalam Rajah 1-1.
Sumber ion Ar mengionkan gas Ar, menghasilkan ion Ar+ dan, dengan voltan dikenakan, memancarkan ion Ar+ yang dipercepatkan kepada keamatan tenaga tertentu. Ion Ar+ yang dipancarkan (ion boleh dipercepatkan sehingga maksimum 8kV) menembusi spesimen, memberi tenaga kepada atom yang menyusun spesimen, dan seterusnya mengalihkan kedudukan atom ini. Fenomena ini dipanggil knock-on, dan knock-on yang berulang kali dipanggil perlanggaran lata. Fenomena atom yang menyusun spesimen tercabut dalam siri proses ini dipanggil sputtering. Satu spesimen digiling akibat fenomena sputtering ini.
Plat pelindung diperbuat daripada bahan yang tidak mudah terpercik. Ia diletakkan tepat di atas spesimen. Tepi plat pelindung diletakkan pada titik di mana pemerhatian keratan rentas dikehendaki, dan spesimen disinari dengan ion Ar+. Bahagian yang tidak dilitupi oleh plat perisai akan terpercik dan keratan rentas di tepi plat perisai terdedah (Rajah 1-2). Jika bahan keras dan bahan lembut dicampur dalam spesimen, akan terdapat perbezaan dalam kadar pemprosesan rasuk ion Ar+, dan akibatnya, kekasaran belang, yang selari dengan arah kejadian ion Ar+, akan menjadi dihasilkan. Untuk mengurangkan kekasaran ini, terdapat mekanisme yang direka untuk mengayunkan spesimen dan plat pelindung (paten JEOL: No. 4557130).
Rajah 1-1 Gambarajah skematik CP
Rajah 1-2 Gambar rajah skema semasa pemprosesan
Lihat video Prinsip Operasi Pemprosesan CP
Sila gunakan penyemak imbas terkini.
Contoh aplikasi , Ciri pemprosesan
Menggunakan pancaran ion yang luas, penggilap keratan rentas (CP) boleh menghasilkan permukaan dengan sedikit kekasaran di atas kawasan yang luas (lebih besar daripada 500μm).
Di bawah adalah imej bahagian elektronik yang diambil oleh EPMA. Daripada imej elektron berselerak belakang (Rajah 2-1) dan imej pemetaan unsur (Rajah 2-2), adalah jelas bahawa permukaan kualiti yang baik dengan kekasaran yang sedikit diperoleh di kawasan selebar 1mm2
Rajah 2-1 (Bahagian elektronik mengikut: sampel telefon bimbit) pandangan keratan rentas komponen elektronik mengikut CP
Rajah 2-2 Keputusan imej pemetaan unsur
Contoh aplikasi , Kaedah pemprosesan menggunakan pemegang putaran spesimen
Penggilap keratan rentas (CP), pemesinan yang lebih berkesan boleh dilakukan dengan menggunakan pemegang sampel berputar.
Keberkesanan pemprosesan dengan Penggilap Keratan Rentas (CP) boleh dipertingkatkan dengan menggunakan pemegang putaran spesimen. Rajah 3-1 menunjukkan prinsip kaedah ini. Dalam kaedah proses biasa (kaedah menggunakan plat pelindung), terdapat kes di mana kekasaran belang menjadi ketara apabila memotong spesimen berliang atau bahan kompleks yang diperbuat daripada beberapa bahan yang mempunyai kadar goresan yang berbeza. Dengan menggunakan pemegang putaran spesimen, yang membenarkan penyinaran rasuk ion Ar+ ke spesimen pada julat 360° darjah, keratan rentas yang bebas daripada striation boleh diperolehi walaupun untuk spesimen tersebut.
Rajah 3-1 Pemegang Putaran
Rajah 3-2 menunjukkan perbezaan antara keratan rentas (kiri) yang dihasilkan menggunakan plat perisai standard dan keratan rentas (kanan) spesimen yang sama (plumbum pensel automatik) apabila menggunakan pemegang putaran spesimen. Apabila membandingkan dua, adalah jelas bahawa hasil yang terakhir adalah lebih baik dan bebas daripada striation.
Rajah 3-2 Plumbum Pensel Automatik