SEM vakum rendah, SEM Asli, SEM Basah, SEM tekanan berubah-ubah, VP-SEM, SEM Alam Sekitar, ESEM

SEM vakum Rendah (LV-SEM) direka untuk meningkatkan tekanan dalam ruang spesimen antara beberapa Pa dan beberapa 100 Pa (julat vakum rendah). Sesetengah instrumen LVSEM boleh menukar tekanan daripada 2000 Pa kepada 3000 Pa. LV-SEM juga dipanggil SEM Alam Sekitar (ESEM), SEM Asli atau VP-SEM (nama produk).
Dalam LV-SEM, menggunakan kation yang dihasilkan daripada molekul gas sisa dalam ruang spesimen melalui perlanggaran dengan elektron kejadian atau elektron yang dipancarkan daripada spesimen, pengecasan negatif elektrik permukaan spesimen boleh dineutralkan. Fenomena ini membolehkan spesimen bukan konduktif diperhatikan tanpa salutan konduktif sambil mengelakkan pengaruh pengecasan. Dalam SEM biasa, voltan pecutan perlu diturunkan kepada kira-kira 1 kV untuk melihat spesimen bukan konduktif tanpa salutan. Walau bagaimanapun dalam LV-SEM, ia tidak perlu menurunkan voltan pecutan untuk memerhati spesimen bukan konduktif. Selain itu, LV-SEM juga berkesan untuk memerhati spesimen dengan banyak gas keluar.
Terdapat lubang kecil (orifis) di antara bahagian bawah kanta objektif dan ruang spesimen, tetapi disebabkan oleh sistem pam pembezaan dalam LV-SEM bahagian di atas kanta objektif disimpan dengan selamat pada vakum yang tinggi tanpa pengaruh vakum rendah kebuk spesimen.
Pengesan elektron sekunder biasa yang dipasang pada kebuk spesimen tidak boleh digunakan kerana ia boleh menyebabkan nyahcas disebabkan oleh voltan tinggi yang dikenakan pada scintillator. Oleh itu, pengesan elektron berselerak belakang atau pengesan elektron sekunder khusus yang menggunakan sistem penguatan gas (ESED; pengesan elektron sekunder persekitaran atau GSED; pengesan elektron sekunder gas) digunakan.
Rajah. (a) menggambarkan sistem pemindahan vakum LV-SEM. Rajah (b) menunjukkan ciri peneutralan cas elektrik dalam LV-SEM.

Rajah. (a) Skema sistem pemindahan vakum LVSEM.
(Pengesan elektron sekunder* tidak boleh digunakan dalam keadaan vakum rendah.)

Rajah (b) Ciri peneutralan cas.
Molekul gas sisa dalam kebuk spesimen menjadi kation dengan berlanggar dengan elektron kejadian dan elektron yang dipancarkan daripada spesimen. Kemudian, kation ini tertarik dengan cas negatif pada permukaan spesimen. Akibatnya, pengecasan di atas permukaan spesimen dinetralkan.

Istilah Berkaitan