SB-89010EUVC
PEMBERSIH UV EXCIMER（UNTUK WAFER）
Ciri-ciri
Wafer 6 inci boleh dimuatkan
Pembersihan permukaan wafer sebelum salutan tahan
Penyingkiran bahan organik daripada permukaan wafer
Meningkatkan lekatan antara rintangan dan wafer (*bergantung pada jenis rintangan atau pembangun, lekatan mungkin tidak bertambah baik).
Kurangkan penjanaan ozon sebanyak mungkin kerana ia berada dalam vakum,
jumlah penjanaan ozon: 0.0012mg/min,
kurang daripada 0.01ppm di sekeliling peralatan.
Pembersih UV Excimer boleh menghapuskan pencemaran yang disebabkan oleh bahan organik pada permukaan wafer, dengan menggunakan cahaya UV dengan panjang gelombang 172 nm yang dipancarkan daripada xenon(Xe) excimer.
Penyingkiran Buih Tahan
Dengan melakukan langkah pembersihan sebelum proses pengukiran, sebarang kotoran tahan yang tinggal pada permukaan wafer dapat dihilangkan.
Sebelum membersihkan
Rintangan positif setebal 400 nm
Selepas pembersihan
Disinari selama 20 minit
Sila rujuk kepada bahagian ini untuk mekanisme pembersihan spesimen dan rawatan hidrofilik menggunakan pembersih UV excimer.
spesifikasi
| Cahaya UV yang disinari | Panjang gelombang 172 nm | ||
|---|---|---|---|
| Saiz spesimen maksimum | L 152.4 mm × D154.2 mm × T 60 mm | ||
| Jisim spesimen maksimum | 1 kg | ||
| Tetapan masa penyinaran | 10 saat hingga 99 minit | ||
| Pam vakum | Pam vakum kering jenis diafragma | ||
| Keperluan pemasangan | Kuasa | Fasa tunggal, 90 hingga 110 V AC, 50/60 Hz, 500 VA | |
| Dimensi dan berat (kabel dan paip vakum tidak termasuk) |
Unit utama | 43 cm (W) × 44 cm (D) × 31 cm (H), kira-kira 22 kg | |
| Vakum pam |
17 cm (W) × 33 cm (D) × 20 cm (H), kira-kira 8 kg | ||
| Suhu bilik | 15 hingga 30 ℃ | ||
| Kelembapan | 60% (RH) atau kurang (tiada pemeluwapan) | ||
| Alat ganti biasa (gantikan setiap kali masa penyinaran kumulatif mencapai 1000 jam) | Lampu UV, tolok vakum, cincin-O, dsb. | ||
※ Nota: Spesifikasi dijamin apabila tiada pengubahsuaian atau penambahan dibuat dan tertakluk kepada perubahan tanpa notis.
Muat turun Katalog
Produk Berkaitan
Adakah anda seorang profesional perubatan atau kakitangan yang terlibat dalam penjagaan perubatan?
Tidak
Sila diingatkan bahawa halaman ini tidak bertujuan untuk memberikan maklumat tentang produk kepada orang ramai.